喷淋式GaN-MOCVD反应室的数值模拟及研究

• 作者: 曹盛 汤绘华 罗磊
• 来源期刊: 橡塑技术与装备
• 学科: 工学
• 关键词: GaN-MOCVD反应室 数值模拟 CFD 热浮力效应
• 年，卷（期）: 2015,（16）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 7-9
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 语种: 中文
• DOI: 10.13520/j.cnki.rpte.2015.16.003

摘要

本文以低压、旋转、垂直喷淋式的GaN-MOCVD反应室为研究对象,运用计算流体力学(CFD)方法对反应室内部的输运过程进行了比较详细数值模拟及研究.数值模拟研究结果发现:在一定外延材料工艺生长参数范围内,加大进气流量(Q)可以有效抑制热浮力效应,从而使反应器内部的流场均匀分布.数值模拟结果不仅对GaN-MOCVD反应室机械结构设计有重要的指导作用,同时也对高品质的外延材料生长工艺参数优化和调试具有重要的参考价值.