工业视觉机器人在单晶硅电池片PVD工艺中的应用

• 作者: 乔雷 李大伟 郑凯 郭晋竹
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅电池片 PVD工艺 工业视觉机器人
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 先进封装技术与设备
• 页码范围: 30-35
• 页数: 6页
• 分类号: TP242.2
• 字数: 4494字
• 语种: 中文

摘要

介绍了单晶硅电池片物理气相沉积(PVD)工序封装解决方案及工艺流程.通过设计基于视觉技术的SCARA工业机器人系统,实现了封装流程的自动化,解决了人工封装过程效率低、成本高、容易污染硅片的问题.并对该系统进行了分析优化,给出了提高精度、速度的优化方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭晋竹		4	1	1.0	1.0
2	李大伟		5	1	1.0	1.0
3	郑凯		5	4	1.0	2.0
4	乔雷		1	1	1.0	1.0