硅单晶切割的初步探索

• 作者: 李金萍 王飞飞
• 来源期刊: 现代制造技术与装备
• 关键词: 硅片生产 切割方式 分析对比
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 行业交流
• 页码范围: 153-155
• 页数: 3页
• 字数: 2197字
• 语种: 中文

摘要

硅片作为晶体硅光伏电池和半导体技术中的一部分,硅片切割起着至关重要的作用.论文针对切割的方法和方式进行了初步分析,经初步研究,掌握了多线切割和电火花线切割的机理及影响因素,并且将几种加工工艺进行对比,其中包括了外圆切割、内圆切割、多线切割和电火花线切割,分析了各自的加工特点、应用情况及发展趋势,从而给从业人员在实际操作环境中对加工方式的选择和配置提供了方便.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王飞飞		2	3	1.0	1.0
2	李金萍		1	3	1.0	1.0