全自动磁控溅射镀膜设备及工艺的研究

• 作者: 佘鹏程 毛朝斌 罗超 范江华 陈特超
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 磁控溅射靶 机械手
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1500字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2018.01.006

摘要

溅射镀膜作为薄膜混合集成电路的重要环节,在厂商要求保证工艺质量的前提下,希望提高设备的自动化程度,减少靶间污染.介绍了一种用于磁控溅射镀膜设备,着重介绍了该系统关键部件溅射镀膜腔室和真空机械手腔室;该系统结构简单,控制效果良好,通过对工艺的研究,该系统能满足生产线的生产要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈特超	中国电子科技集团公司第四十八研究所	21	38	3.0	5.0
2	毛朝斌	中国电子科技集团公司第四十八研究所	13	11	2.0	2.0
3	罗超	中国电子科技集团公司第四十八研究所	7	2	1.0	1.0
4	范江华	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	2	1.0	1.0
5	佘鹏程	中国电子科技集团公司第四十八研究所	6	6	1.0	1.0