XPS和TOF-SIMS在PCB失效分析中的应用

• 作者: 何骁 周亮 李伟明 沈江华
• 来源期刊: 印制电路资讯
• 学科: 工学
• 关键词: XPS TOF-SIMS 失效分析
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 页码范围: 104-108
• 页数: 5页
• 分类号: TN41

摘要

X射线光电子能谱仪（XPS）和飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）作为浅表面化学分析的两种重要手段,能够高精度的提供村料表面丰富的物理化学信息,在诸多行业的科学研究中被广泛应用.本文通过设备原理分析,结合具体应用实例,对XPS和TOF-SIMS在PCB失效分析的应用做了简单探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何骁		4	0	0.0	0.0
2	周亮		2	0	0.0	0.0
3	沈江华		2	0	0.0	0.0
4	李伟明		1	0	0.0	0.0