片上皮法级电容测试系统专用标准件的研制

• 作者: 丁晨 乔玉娥 刘岩 梁法国 翟玉卫 郑世棋
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 片上皮法级电容测试系统 在片开路器 MIM电容 测量模型 在片电容标准件
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与设备
• 页码范围: 232-238
• 页数: 7页
• 分类号: TN304.23|TB971
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.03.012

摘要

研制了一套用于片上皮法级电容测试系统的电容标准件,量值低至1 pF,频率达到1 MHz.该电容标准件采用GaAs衬底,金属-绝缘层-金属(MIM)结构的电容器阵列实现,其标称值分别为1,10和100 pF.为了消除由探针系统和外界环境引入的分布电容的影响,在芯片同一单元内设计了在片开路器,电容测量准确度达到±1％.建立了在片皮法级电容测量模型,利用组建的可溯源在片定标装置对电容样片定标后,进行重复性和稳定性考核,最终研制出年稳定性小于0.4％的电容标准件一套.测量结果及标准件应用表明,研制的标准件可为片上皮法级电容测试系统进行现场整体校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔玉娥	中国电子科技集团公司第十三研究所	23	27	3.0	4.0
2	梁法国	中国电子科技集团公司第十三研究所	54	104	5.0	7.0
3	郑世棋	中国电子科技集团公司第十三研究所	26	25	3.0	3.0
4	翟玉卫	中国电子科技集团公司第十三研究所	32	64	4.0	6.0
5	刘岩	中国电子科技集团公司第十三研究所	28	43	4.0	4.0
6	丁晨	中国电子科技集团公司第十三研究所	8	15	2.0	3.0