衬底温度对磁控溅射氮化钛薄膜质量的影响

• 作者: 韩以恒
• 来源期刊: 读天下(综合)
• 学科: 社会科学
• 关键词: 磁控溅射技术 TIN薄膜 NACL
• 年，卷（期）: 2019,（22）
• 页码范围: 0268-0268
• 页数: 1页
• 分类号: G

摘要

本文采用磁控溅射技术,通过改变沉积温度在玻璃衬底上制备了一系列TiN薄膜。利用XRD进行了物相鉴定,使用分光光度计、椭圆偏振光谱仪和四探针电阻仪测试了TiN薄膜的光学性能。结果表明:制备的TiN薄膜为多晶态立方结构TiN,且随着衬底温度的升高,薄膜结晶性提高,折射率减小,消光系数升高。

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1	韩以恒		1	0	0.0	0.0