激光刻蚀设备多工位定位技术研究

• 作者: 韩瑞 魏祥英 黄卫国
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 激光刻蚀 陶瓷器件 定位 夹具
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 20-22
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1519字
• 语种: 中文

摘要

针对陶瓷器件电路刻蚀加工中多种规格器件的定位要求,设计了相应的安装夹具,一次可实现多个器件装夹,采用合理的定位算法,达到快速准确定位的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄卫国	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	1	1.0	1.0
2	韩瑞	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	0	0.0	0.0
3	魏祥英	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	4	1.0	2.0