强磁靶共溅射法制备具有室温磁电阻特性的Co-TiO2纳米复合薄膜

• 作者: 吴姗姗 吴忠 张亦文 秦真波 胡文彬 陈浩禹
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米复合薄膜 强磁靶共溅射法 室温隧道磁电阻 Co-TiO2
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1263-1267
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20200020

摘要

Co-TiO2纳米复合薄膜作为一种新型自旋电子材料,由于具有良好的生物相容性,近年来受到广泛关注.但在制备过程中,磁性金属Co处于氧化气氛,容易部分氧化,从而影响薄膜的隧道磁电阻性能.为了抑制磁性金属的氧化,提高金属态含量,本研究通过强磁靶共溅射法制备了Co-TiO2纳米复合薄膜.该方法采用的强磁靶头,磁场强度高、分布均匀,可以提高溅射粒子的能量和溅射速率,降低因高能粒子碰撞而发生氧化的概率.因此强磁靶共溅射法能明显抑制金属Co的氧化,提高纳米复合薄膜的自旋极化率.所制备的Co-TiO2纳米复合薄膜主要由非晶态的TiO2基体和分散其中的Co颗粒组成.通过调节金属Co颗粒尺寸和分布状态,在电学上实现了金属态向绝缘态转变,在磁学上实现了铁磁性向超顺磁性转变.Co含量为51.3at％时,Co-TiO2纳米复合薄膜表现为高金属态和高电阻率,并且实现了高达8.25％的室温隧道磁电阻.强磁靶共溅射法使Co-TiO2纳米复合薄膜的室温磁电阻性能得到了进一步提高,这对于磁性金属—氧化物纳米复合薄膜的研究有着重要的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦真波		6	1	1.0	1.0
2	吴忠		7	4	1.0	2.0
3	胡文彬		14	10	2.0	2.0
4	陈浩禹		3	0	0.0	0.0
5	张亦文		3	0	0.0	0.0
6	吴姗姗		2	0	0.0	0.0