传感技术学报期刊
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传感技术学报

Chinese Journal of Sensors and Actuators

CACSCDJSTSACSTPCD

影响因子 1.3812
《传感技术学报》杂志的编委委员均来自国内各著名高校的教授和博士生导师,他们是我国传感器领域方面的专家、学者和权威人士。《传感技术学报》稿源来自全国各高等院校,,中国科学院所属的有关专业研究机构以及国内大型工矿企业设置的专业研究所。《传感技术学报》刊登的论文均有2名国内同行专家审稿通过。 《传感技术学报》的作者有院士、教授、博士生导师、研究员、博士研究生、和硕士研究生以及从事该研究领域的工作... 更多
主办单位:
东南大学 中国微米纳米技术学会
期刊荣誉:
江苏省一级期刊  荣获《中国学术期刊(光盘版)检索与评价数据规范》执行优秀奖 
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
出版周期:
月刊
邮编:
210096
地址:
南京市四牌楼2号东南大学
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  • 作者: 任天令 刘理天 方华军
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1330-1332,1336
    摘要: 利用压电多层膜悬臂梁的形变曲率半径,导出了简洁的压电悬臂梁型微执行器的偏转模型.采用此模型,对硅基PZT压电悬臂梁型微执行器进行了模拟和分析.分析获得了各层薄膜结构参数与微执行器偏转位移的关...
  • 作者: 常洪龙 徐景辉 苑伟政 谢建兵
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1333-1336
    摘要: 研究了一种准标准格式的三维实体文件的结构,在此基础上提出了三维实体到标准工艺版图的转换方法,并采用VC++编程语言开发了相应的转换接口.最后通过典型MEMS器件--微机械加速度计进行了验证,...
  • 作者: 冯建 张正元 徐世六 胡明雨
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1401-1403
    摘要: 对硅基MEMS的可动部件很多都是采用在带图形的硅衬底上制备的硅薄膜通过深槽腐蚀释放获得的特点,开展在带图形的硅衬底上制备硅薄膜技术研究,得到一种通过两次硅硅键合、减薄抛光、一次湿法腐蚀硅相结...
  • 作者: 吴一辉 张平 张涛 王淑荣
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1444-1447
    摘要: 微机械(MEMS)工艺和集成电路(IC)工艺中,在硅(Si)片上电铸高深宽比坡莫(NiFe)合金材料常出现脱落现象.提出了一种电铸NiFe合金材料的新方法,这种方法制作的合金薄膜厚度达200...
  • 作者: 徐克宝 李小波 王军成 陈广庆 高丽丽
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1509-1511
    摘要: 涌浪的形态对舰船驾驶航行、渔业生产、海洋作业和堤坝设施等具有很大的影响.对海浪的形态研究在军事、水上交通、海洋工业、渔业和民生方面都具有特殊的意义.MEMS力学量传感器是一种环境适应能力极强...
  • 作者: 李源 栗大超 胡小唐 赵大博 郭彤 陈津平
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1512-1515
    摘要: 为了提高MEMS微接触式测头的性能,系统开展了测头的结构设计和参数优化.根据测头结构各个部分的设计目标,提出了测头悬挂系统拓扑结构的设计方案.基于测头结构的力学模型,提出了结构参数对测头性能...
  • 作者: 余存江 唐洁影 师谦 恩云飞 王佩瑶
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1602-1605
    摘要: MEMS(Micro-electronics Mechanical System)的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的一个重要问题.多晶硅微悬臂梁是MEMS中的一个基本结构,阐述了多晶硅...
  • 作者: 杨平 沈敏 王鸣
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1667-1669
    摘要: 采用平衡分子动力学方法(EMD)研究了平衡温度为300K的氮化铝薄膜的法向热导率.利用Stillinger-Weber势函数以及Green-Kubo线性响应理论计算热导率.计算结果表明,氮化...
  • 作者: 杨振宇 赵亚溥
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1689-1692
    摘要: 采用COMPASS力场,通过分子动力学模拟,研究了Ni纳米薄膜的弹性模量的尺寸效应,以及生物分子吸附在Ni表面对其力学性能的影响.计算结果表明,随着厚度的增大,吸附强度也在增强;Ni纳米薄膜...
  • 作者: 吴志明 廖乃镘 李世彬 李伟 蒋亚东
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1721-1724
    摘要: 通过理论计算得到了桥腿长度和宽度与热导和桥面温升之间的线性关系,辐射功率和桥面温升之间的线性关系,并利用ANSYS软件对线性关系进行模拟验证.根据光学导纳矩阵法,利用MatLab软件模拟微测...
  • 作者: 吴志明 李世彬 李素 杨晓瑜 蒋亚东
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1728-1730
    摘要: 微测辐射热计的设计难点是起支撑作用的微桥结构的设计.重点研究了现在流行的几种微桥结构,对其性能参数进行分析比较,提出了多层结构的优点.并使用有限元分析软件对不同微桥进行结构分析,以比较其稳固...
  • 作者: 徐永青 李海军 杨拥军 王建军 郑七龙 陈维友
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1731-1734
    摘要: 介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器.根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求,对器件的机械模型结构和光耦合模型结...
  • 作者: 孟凡涛 张娜 褚金奎 赵开春
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1739-1743
    摘要: 亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊性质.针对仿生微纳导航系统敏感波段0.52-0.59μm的要求,采用严格耦合波理论分析了不同光栅材料、光栅面型及光栅结构参数对TM偏振透射率及透射...
  • 作者: 李明 王鸣 葛益娴 陈绪兴
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1832-1834,1839
    摘要: 运用微机械系统加工技术制作了一种新型法布里-珀罗干涉型光纤微机电系统压力传感器,该传感器通过测量反射光谱的移动测量压力.运用多腔干涉原理对该传感器进行理论以及模拟分析得出,通过改变压力传感器...
  • 作者: 乔东海 汤亮 郝震宏
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1911-1916,1919
    摘要: 主要利用Mason等效电路模型对加入介质声损耗的薄膜体声波谐振器输入阻抗公式进行了推导,并利用该结果对薄膜体声波谐振器的谐振特性进行了模拟分析,分别就不同压电层材料和厚度以及不同电极材料和厚...
  • 作者: 任天令 刘理天 刘锋 张帆 杨晨
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1934-1937
    摘要: 片上无源电感是RF IC中需求很高的器件.将适宜的磁材料引入到射频微电感中,既可有效地提升电感L值,从而使电感所需面积减小,又能保持甚或提升电感Q值,是实现高性能、小尺寸射频微电感的一种非常...
  • 作者: 吴含琴 廖小平
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1951-1954
    摘要: 针对一种用键合线连接的简单封装模型进行射频性能的模拟.用HFSS软件对不同长度、不同高度、不同直径以及不同间距的键合线进行模拟,总结出这些参数对键合线射频性能的影响.提出了由顶盖、CPW和键...
  • 作者: 于映 吴清鑫 罗仲梓
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1967-1969
    摘要: 氮化硅薄膜具有致密的结构、高强度和良好的耐磨性能,可用于MEMS器件中作为结构部件.本文采用PECVD法制备氮化硅薄膜,对氮化硅薄膜的杨氏模量和硬度进行了测试,并分析了沉积温度、反应气体流量...
  • 作者: 刘泳宏 赵湛
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1978-1982
    摘要: 结合信息技术、生物技术与纳米技术的发展,提出一种基于NEMS技术的"三维纳隙网格阵列微电极生物传感器"设计,用于生物样品在蛋白或细胞水平上的介电泳分离和检测.重点针对传感器制作的关键工艺问题...
  • 作者: Nithin Narayananb 张善亮 徐波
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2000-2003
    摘要: 描述了微通道内交流电水力泵(EHD)的工作原理,并用IntelliSuite(R)的Microfluidic模块对电水力泵进行数值模拟.并分析了影响电水力泵速度场分布的因素,包括流体电导率、...
  • 作者: 于海霞 徐可欣 栗大超 胡小唐 黄显 黄福祥
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2072-2076
    摘要: 葡萄糖是生物体和食品中普遍含有的一种重要物质,其浓度的高低直接影响着生物体功能的正常发挥和食品的质量,因此检测葡萄糖的浓度有重要的意义和作用.本文利用微型表面等离子共振生物传感器构造了葡萄糖...
  • 作者: 余海钱 廖海洋 王涵
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2100-2102,2106
    摘要: 结合MEMS技术和无线射频技术,提出了一种新型的人体健康参数采集方法.基于此方法设计了一种便携式、低成本的人体健康参数采集系统.介绍了系统的测量原理以及硬件和软件设计.该系统测量体温的精度为...
  • 作者: 吴莉莉 张孝彬 惠国华 潘敏 陈裕泉
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2114-2118
    摘要: 基于气体电晕放电原理,利用纳米碳管独特的物理结构和尖端发射效应,提出了一种新型的纳米碳管离子型气体传感器.采用阳极氧化铝模板法生长的定向纳米碳管阵列所构成的传感器,纳米碳管和电极是一体的,简...
  • 作者: 吴莉莉 张孝彬 惠国华 潘敏 陈裕泉
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2119-2121,2125
    摘要: 在对某些非线性动力学系统中,存在着随机共振现象,它不是通过消除噪声而是利用噪声来达到检测微弱信号的目的,随机共振是非线性动力系统中的普遍现象,它向人们展示了噪声在非线性体系中的积极作用.本文...
  • 作者: 安康 苏岩
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2233-2235
    摘要: 本文提出了基于数字信号处理器TMS320F2810的数字控制、PWM静电力反馈硅微加速度计方案.介绍了该方案的基本工作原理,建立了相应的闭环系统数学模型,并在s域设计了系统校正环节.文章还提...
  • 作者: 徐联 汪承灏 潘昕 魏建辉
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2279-2282
    摘要: 粘连是硅微电容传声器释放牺牲层过程中不容忽视的一个严重问题,大大降低了器件的成品率.在背板上制备微突出(bump)结构,可以较彻底阻止粘连现象发生,提高传声器的成品率.以往的防粘连微突出结构...
  • 作者: 伍康 刘力涛 叶雄英 周兆英 郭琳瑞 陈烽
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2340-2343
    摘要: 利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在...
  • 作者: 万艳芬 曹全喜 李双春 李珍 苏董杰
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2365-2368
    摘要: 本文采用共沉淀法和溶胶-凝胶法成功合成了1at.%和5at.%的Nd:YAG纳米粉体,并采用TG-DTA、XRD及SEM对前驱体粉体进行表征,最后采用真空热压烧结工艺制得Nd:YAG多晶陶瓷...
  • 作者: 林伟 陈文哲 黄世震
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2369-2370
    摘要: 纳米二氧化锡为一种常用气敏材料,可通过不同方法制备二氧化锡纳米材料,利用电子显微镜,观察纳米材料的形貌、大小、结晶、生长、缺陷以及团聚现象,分析、总结制备工艺及方法对材料结构影响.
  • 作者:
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  封4
    摘要:

传感技术学报基本信息

刊名 传感技术学报 主编 黄庆安
曾用名
主办单位 东南大学 中国微米纳米技术学会  主管单位 中华人民共和国教育部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1004-1699 CN 32-1322/TN
邮编 210096 电子邮箱 dzcg-bjb@seu.edu.cn;dzcg-bjb@163.com
电话 025-83794925 网址
地址 南京市四牌楼2号东南大学

传感技术学报评价信息

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传感技术学报统计分析

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