传感技术学报期刊
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传感技术学报

Chinese Journal of Sensors and Actuators

CACSCDJSTSACSTPCD

影响因子 1.3812
《传感技术学报》杂志的编委委员均来自国内各著名高校的教授和博士生导师,他们是我国传感器领域方面的专家、学者和权威人士。《传感技术学报》稿源来自全国各高等院校,,中国科学院所属的有关专业研究机构以及国内大型工矿企业设置的专业研究所。《传感技术学报》刊登的论文均有2名国内同行专家审稿通过。 《传感技术学报》的作者有院士、教授、博士生导师、研究员、博士研究生、和硕士研究生以及从事该研究领域的工作... 更多
主办单位:
东南大学 中国微米纳米技术学会
期刊荣誉:
江苏省一级期刊  荣获《中国学术期刊(光盘版)检索与评价数据规范》执行优秀奖 
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
出版周期:
月刊
邮编:
210096
地址:
南京市四牌楼2号东南大学
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  • 作者: 常洪龙 徐景辉 苑伟政 谢建兵 阎子健
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1323-1326
    摘要: 当前MEMS CAD软件中可以支持的设计流程比较固定和单一,已不能完全满足由MEMS器件种类日益增多所带来的设计新需求.论文提出了一种可支持任意流程的MEMS设计方法,并基于此建立了设计工具...
  • 作者: 于茂华 张效翔 王小静 王敏 谢明春 高嵘
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1354-1357
    摘要: 针对横向振动MEMS微谐振器,计入非线性空气阻尼力,对微谐振器非线性动力学特性进行研究.建立微谐振器非线性动力学模型,计入滑移边界条件和稀薄气体效应,利用FLUENT和MATLAB对Navi...
  • 作者: 吴学忠 王雄
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1434-1436,1440
    摘要: 简单介绍了PVD溅射系统和溅射原理.实验分析了PVD溅射技术在微晶玻璃基片溅射沉积Cu膜时,沉积速率随相关工艺参数变化而变化的几点规律.给出了用PVD溅射技术沉积的Cu膜的表面形貌(AFM)...
  • 作者: 万红 吴学忠 徐超 李兆泽 李圣怡
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1437-1440
    摘要: 通过台阶仪和扫描电镜、原子力显微镜测试观察了PVD方法制作Cr薄膜的溅射速率和表面形貌,实验分析了相关工艺参数对溅射速率的影响情况,并对薄膜的湿法刻蚀工艺进行了初步研究.同时给出了Cr膜与其...
  • 作者: 刘海军 朱神渺 杜立群 秦江
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1481-1483,1487
    摘要: 针对基于无背板生长工艺的微电铸模具高度不均匀问题,本文首次采用两种不同的周期换向电流进行了实验研究.两种周期换向电流分别是正负脉冲换向电流和正向脉冲负向连续的换向电流,实验采用在大量正脉冲电...
  • 作者: 丁建宁 余朋清 王权 薛伟
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1497-1499
    摘要: 对微构件力/电/热等多域场下力学行为的研究有着重要的意义,利用原子力显微镜采用纳米压痕法对样品金在力-电-热耦合作用下的表面力学性能进行了研究,实验表明在压痕过程中,无论在无电场作用下还是有...
  • 作者: 卢泽生 姜文锐
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1555-1558,1562
    摘要: 为了解决宏/微驱动系统中大行程和高精度之间的矛盾,研制了一种基于摩擦工作原理的压电陶瓷驱动的新型大行程、高分辨率步进式微执行器,该微执行器的行程为300mm、位移分辨率为0.02μm.提出了...
  • 作者: 孙萍 张璐 秦明 魏泽文 黄庆安
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1563-1565,1569
    摘要: 从叶轮式微流量传感器的结构及工作原理出发,设计了该传感器的电容检测电路.该电路由振荡电路和数字鉴频等单元电路构成,通过PSPICE仿真,实际搭制及调试,实现了检测电路的功能.
  • 作者: 丁高飞 沈广平 秦明
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1570-1572
    摘要: 为了实现风速计良好的恒温差控制,控制回路中的放大器需要有大增益,但大增益又会引起自由振荡的问题,本文介绍了解决这种自由振荡问题的方案,即脉冲调制型恒温差控制电路的工作原理及设计.在实际应用中...
  • 作者: 孙远程 张茜梅 彭勃 杨波 赵龙
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1610-1612
    摘要: 在微机械高冲击传感器的测试过程中发现一种传感器芯片的严重失效问题.文中采用薄板弯曲的简化模型对该失效问题进行了初步研究.分析认为该失效是由于高冲击引起封装壳体变形使管芯承受放大了的应力,过大...
  • 作者: 乔大勇 安飞 秦冲 苑伟政
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1754-1756,1760
    摘要: 研究了基于MOEMS技术的微型可编程光栅的光学特性.对平行复色光正入射时微型可编程光栅的衍射场进行了理论分析,分析表明可以通过对可编程光栅编程状态的预先设定,使其衍射输出对应于不同目标物质的...
  • 作者: 吴亚雷 吴建华 褚家如
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1792-1795
    摘要: 首次提出了使用溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜,分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机理与特点,系统的研究了溶胶-电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点,并分析了前驱液浓度、电...
  • 作者: 张正元 曾鹏
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1826-1828,1831
    摘要: 针对单片集成压力传感器信号的识取和处理,提出了一种高增益、全摆幅的运算放大电路.电路采用两级放大,具有对称的输入结构和全摆幅输出结构.将电路通过计算机软件PSPICE进行模拟,在5V的电源电...
  • 作者: 冯勇建 林雁飞 胡洪平
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1859-1862
    摘要: 评价一对义齿的好坏必须了解其对口腔下方组织的作用力情况,文中根据电容式压力传感器的原理,采用MEMS工艺,结合义齿在口腔中的工作环境,研制出一种新型的医用MEMS电容式压力传感器.将传感器分...
  • 作者: 张凤田 王宏斌 金仁成 陈涛
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1871-1874
    摘要: 针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试,对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真.运用模糊控制算法与模糊PID控制算法,对实验进行了建模及MATLAB仿真,并比较了两种算法的控制效果....
  • 作者: 万江文 于宁 吴银锋
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1955-1958,1962
    摘要: 电容式RF MEMS开关介质层电荷累积被认为是导致开关失效的主要原因.基于电容式RF MEMS开关工作过程中电场强度的变化,分析讨论了累积电荷的来源,并推导出相应的计算公式.对于随机性较大的...
  • 作者: 刘波 吴一辉 张平
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1963-1966,1969
    摘要: 作为硅微机械技术的替代,低成本的聚合物微制作变得越来越重要.在本研究中,开发了一种微模塑工艺,用以制作以聚合物为基底的平面线圈,将提高其可靠性,降低制造成本.双面密集微沟槽(100μm×70...
  • 作者: 傅建中 相恒富 陈子辰
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2011-2014
    摘要: 激光直写聚合物微流道是非常有效的加工方法,但是,由于激光烧蚀聚合物的热流密度很高,在小的热影响区产生过大的集中热应力,热应力导致产生微裂纹,降低材料的强度和疲劳寿命,严重的引起材料破坏性失效...
  • 作者: 叶雄英 周兆英 王晓浩 谭苗苗
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2030-2033
    摘要: 碳纳米管在微结构上的组装是实现纳器件的关键.本论文分别采用电泳和流体驱动方法对两种不同的多壁碳纳米管进行了排布组装研究.电泳过程中频率一定时,增加电压或电泳时间,碳管沉积的密度增加;流体排布...
  • 作者: 刘晓为 宋明歆 宫纯青 殷景华 贺训军
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2054-2056
    摘要: 利用有限元分析软件ANSYS对长方形和圆形两种霍尔器件的工作状态进行模拟,分析霍尔片(霍尔器件工件区域)结构尺寸与霍尔器件灵敏度的关系,研究形状对器件灵敏度的影响.结果表明:圆形霍尔片灵敏度...
  • 作者: 何保山 刘春秀 周爱玉 岳伟伟 杨庆德 蔡新霞
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2092-2095,2099
    摘要: 主要介绍了一种基于干法光学生物传感器的便携式血红蛋白(Hb)检测系统.该系统基于光学反射原理,以高精度微转换器ADμC824为控制核心、高亮度发光二极管(LED)为光源、光敏电阻为光电转换器...
  • 作者: 夏保佳 封松林 李圣怡 李昕欣 王跃林 董培涛 陈聪
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2156-2159
    摘要: 针对一种基于MEMS技术制造的H2/air自呼吸式微型质子交换膜燃料电池,建立了二维等温的阴极数学模型,计算了电池的平均电流密度及功率密度.由于阴极采用空气自呼吸式,阴极流场板结构的空占比就...
  • 作者: 卢桂章 孙广毅 谭宜勇 赵新 金桐
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2177-2181,2185
    摘要: 微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计,该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在...
  • 作者: 孙剑 徐敬波 苑国英 蒋庄德 赵玉龙
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2197-2199
    摘要: 介绍了一种基于SOI的硅压阻式三轴加速度传感器的设计和制备.该三轴加速度传感器采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间质量块的结构.加速度传感器通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量三个方向...
  • 作者: 施芹 苏岩 裘安萍 黄丽斌
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2204-2207
    摘要: 提出了一种采用微杠杆结构进行惯性力放大的硅微振梁式加速度传感器结构,阐述了其工作机理.在此基础上,讨论了两种不同的支点形式,分别推导了这两种结构形式的放大倍数计算公式,发现Ⅰ型支点形式的放大...
  • 作者: 王庆 苏岩 赵燕
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2208-2211
    摘要: 针对微型热对流陀螺仪敏感输出信号非常微弱、不易测量的特点,本文提出了一种热对流陀螺仪敏感信号检测方法.采用交变电流来驱动加热器,产生交变的流速.在外界输入角速度时,产生了交变的哥氏加速度,从...
  • 作者: 刘晓为 王超 莫冰 许晓巍 谭晓昀 齐向昆
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2240-2244
    摘要: 在分析微机械陀螺接口电路工作原理的基础上,采用中电集团第24研究所的3μm10 V P-well标准模拟CMOS工艺设计并制作了微机械陀螺ASIC接口电路.电路HSPICE仿真灵敏度为0.2...
  • 作者: 徐良臣 杨金显 袁赣南
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2264-2267
    摘要: 参照相关国军标,按照陀螺的主要精度指标、测试方法、标准和IEEE陀螺的测试规范,完成了由美国BEI公司研发的Gyro Chip Ⅱ微机械陀螺的标准化测试.通过在微机械陀螺标定试验中采用均匀测...
  • 作者: 刘晓为 陆学斌 陈伟平 陈宏 韩天
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2268-2271
    摘要: 对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟.以设计的一种微机械陀螺为模型,对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计算,利用MATLAB模拟了阻尼对灵敏度以及频率特性的影响.得出了不...
  • 作者: 张学俊 杨芬 甘复兴
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2326-2330
    摘要: 以SnCl4·5H2O和SbCl3乙醇溶液为原料,用阴离子交换除氯水解法制备得到了无氯离子的掺锑氢氧化锡胶体沉淀.为了消除粉体团聚,首次采用了乙酸异戊酯有机溶剂作脱水剂,用TG-DTA、IR...

传感技术学报基本信息

刊名 传感技术学报 主编 黄庆安
曾用名
主办单位 东南大学 中国微米纳米技术学会  主管单位 中华人民共和国教育部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1004-1699 CN 32-1322/TN
邮编 210096 电子邮箱 dzcg-bjb@seu.edu.cn;dzcg-bjb@163.com
电话 025-83794925 网址
地址 南京市四牌楼2号东南大学

传感技术学报评价信息

期刊荣誉
1. 江苏省一级期刊
2. 荣获《中国学术期刊(光盘版)检索与评价数据规范》执行优秀奖

传感技术学报统计分析

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