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电子工业专用设备2019年第2期出版文献
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
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总被引数（次）
10002
电子工业专用设备
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Equipment for Electronic Products Manufacturing
影响因子
0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖
获2003~2004年度出版质量部级奖
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年2期页码:摘要： 介绍了声表面波器件金属膜剥离工艺及自动化设备,包括设备用途、功能和结构组成,能完成厚度在0.20～1.00 mm具有基准边的100～150 mm标准圆片金属膜剥离、冲洗和甩干工艺.与传统的槽...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年2期页码:摘要： 在微孔精密加工工艺中,常规的电机运动轨迹已经很难满足产品的工艺标准.通过运动控制系统搭建,采用直线缓冲与圆弧过渡两种主要方式,改变激光加工轨迹,以减少电机速度较慢时烧蚀严重所造成的孔径不规则...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年2期页码:摘要： 根据晶圆电镀原理,建立简化的晶圆双面电镀槽模型,分析了改变阴阳极间距对电流密度的影响,探索了各种镀层厚度不同图形双面电镀的可行性.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年2期页码:摘要： 基于远心镜头、显微镜头等成像镜头的光学系统在半导体装备上应用非常广泛.光学系统设计中需要规定对一定成像范围内的物点,以要求孔径角成像,这些对成像光束起到约束作用的孔径称为光阑;依据作用不同,...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年2期页码:摘要： 根据太阳能PERC电池关键工艺设备——平板式PECVD设备的整体要求,介绍了其中工艺腔的加热系统设计,对加热功率进行了计算,控制方式进行了分析,通过优化设计,降低了设备的能耗,提高了温度均匀...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年2期页码:摘要： 设计了大功率微波模式转换器,并采用两种工艺加工,分别利用低功率冷测和大功率热测实验对比了其性能.结果 表明,导电氧化的加工件性能要明显优于老化件,其低功率冷测传输效率可达99.9％,返回损耗...
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10. 晶体硅光伏模组输出功率提升的研究刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年2期页码:摘要： 简述了晶体硅光伏模组的原理,讲述了光伏模组功率输出的影响因素,提出了提高功率输出效果的技术途径,并介绍了验证效果.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年2期页码:摘要： 利用IGBT器件作为DC-DC变换器的功率模块,设计了一套电压电流等级为330 V、30A的DC-DC变换器装置.为了提高其可靠性,采用由两台H桥变换器并联的双机热备份设计方案,并对变换器故...
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12. 一种中型企业的物料优选管控方法刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年2期页码:摘要： 结合一家拥有多系列复杂产品的中型研发企业的实际情况,从物料基础信息梳理、物料优选属性分类定义、物料认证流程管控等方面介绍了物料优选管控方法.给出了针对产品和公司两个层面的物料管理绩效考核对象...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年2期页码:摘要： 以在线式高温测试柜为例,简要概述了在线式高温测试柜的结构组成、工作原理、关键技术,以及在特定生产线的未来发展和应用.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年2期页码:摘要： 设计了一种化学机械抛光设备(CMP)的底座系统,主要包括地脚、方钢管、大铝板等.针对CMP设备在使用中存在的噪声偏大,高转速下的电机转动引起的共振影响晶圆抛光质量问题,通过MSC Patra...
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16. 信息动态刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年2期页码:摘要：
电子工业专用设备基本信息
| 刊名 | 电子工业专用设备 | 主编 | 赵璋 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 主管单位 | 中国电子科技集团 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1004-4507 | CN | 62-1077/TN |
| 邮编 | 100029 | 电子邮箱 | faith＿epe@sohu.net |
| 电话 | 010-64443110，64655251 | 网址 | www.chinaepe.com.cn |
| 地址 | 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室 |
电子工业专用设备评价信息
期刊荣誉
| 1. | 2001~2002年度标准化规范化部级奖 |
| 2. | 获2003~2004年度出版质量部级奖 |
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