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电子工业专用设备2020年第3期出版文献
出版文献量（篇）
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总被引数（次）
10002
电子工业专用设备
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Equipment for Electronic Products Manufacturing
影响因子
0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖
获2003~2004年度出版质量部级奖
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年3期页码:摘要： 从高效太阳能电池结构要求出发,分析了超薄氧化层的作用,在自研设备的基础上,采用强氧化性的O2等离子体与硅前驱体进行了PEALD沉积研究.在源瓶温度80℃、沉积温度200℃的工艺条件下,薄膜单...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年3期页码:摘要： 介绍了清洗工艺中常用的干燥方式,以及不同干燥方式给晶片带来的水痕缺陷、颗粒超标等污染.应用过程中需根据不同的工艺要求,选择合适的干燥方式,以达到高效、洁净的干燥效果.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年3期页码:摘要： 对虚拟样机技术的建模工具进行调研,最终选择SimMechanics工具箱作为光刻机动力学建模工具.用拉格朗日方法推导出多刚体系统动力学方程,并在原有商业软件的基础上进行二次开发,满足光刻机多...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年3期页码:摘要： 论述了NIKON i12D(type3)光刻机平边定位工作原理,并以NIKON i12D(type3)光刻机为基础,通过对找平边传感模块的硬件和电路改造,实现了对GaN晶圆平边的有效识别.测...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年3期页码:摘要：
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13. 薄膜高压传感器焊接封装技术研究刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年3期页码:摘要： 测量高温、高压、强振动等恶劣环境下的压力,薄膜压力传感器具有不可替代的优势.结合薄膜传感器特点,设计全焊接式一体化结构,应用先进的焊接方法与焊接工艺进行传感器结构封装,可获得长期恶劣环境下应...
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15. 基于精密校准台的结构设计与改进刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2020年3期页码:摘要： 全自动共晶贴片机是微电子封装领域的核心设备,精密校准系统是保障设备精度的关键部分,针对精密校准台结构现有问题进行深入研究,对其结构进行了优化和改进,并对改进后的精密校准台进行验证确认.
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电子工业专用设备基本信息
| 刊名 | 电子工业专用设备 | 主编 | 赵璋 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 主管单位 | 中国电子科技集团 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1004-4507 | CN | 62-1077/TN |
| 邮编 | 100029 | 电子邮箱 | faith＿epe@sohu.net |
| 电话 | 010-64443110，64655251 | 网址 | www.chinaepe.com.cn |
| 地址 | 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室 |
电子工业专用设备评价信息
期刊荣誉
| 1. | 2001~2002年度标准化规范化部级奖 |
| 2. | 获2003~2004年度出版质量部级奖 |
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