微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  1-7
    摘要: CMOS和MEMS结合所产生的MEMS智能传感器技术已成为智能传感器发展的主流,目前智能时代的开启已带动MEMS智能传感器技术进入快速发展阶段.综述了惯性、压力、温度和生化等典型的MEMS智...
  • 作者: 刘汝新 董瑞新 袁帅 闫循领
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  8-12,56
    摘要: 由于供体-受体型聚合物具有较强的诱捕和释放电荷的能力,在忆阻器的研究方面具有很大的潜力.利用异靛蓝、丙烯二氧噻吩和噻吩合成了低带隙的供体-受体半导体聚合物(IPDT)(异靛蓝/噻吩/丙烯二氧...
  • 作者: 刘城 刘建强 刘自瑞 毛海央 王爱记
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  13-19,25
    摘要: 实现对器件阈值电压的有效调控是高k金属栅(HKMG)技术面临的一项重要挑战.TiAl薄膜作为n型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOSFET)的功函数层被广泛地应用于HKMG结构中以实现对器...
  • 作者: 冯荣 方俊飞 苟于春
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  20-25
    摘要: 利用纳米流体作为工作介质来实现太阳能光热转换是太阳能利用的最简单方式.将二氧化钛(TiO2)纳米颗粒和氮化钛(TiN)纳米颗粒均匀分散在水中形成TiO2/TiN复合物纳米流体,进而研究复合物...
  • 作者: 刘景全 尤敏敏 战光辉 林祖德 田姣姣 白毅韦
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  26-33
    摘要: 设计制造了一种改进的双螺旋结构MEMS加热器,可用于高温气体传感器作为加热和传感单元.该MEMS加热器以Si为基底,SiO2/Si3N4纳米薄膜作为绝热层,Pt/Ti金属薄膜作为加热单元和传...
  • 作者: 刘俊 刘文耀 唐军 张伟 田野
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  34-39
    摘要: 光纤谐振腔作为谐振式光学陀螺的核心传感器件,其性能直接决定了谐振式光学陀螺的灵敏度.目前使用的光纤谐振腔存在着品质因数偏低的问题,极大地限制了谐振式光学陀螺极限灵敏度的提升.将掺铒光纤引入到...
  • 作者: 倪林 卞世元 唐敏 孔德义 王焕钦 许锋
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  40-44,70
    摘要: 磷酸根离子是一种对作物生长非常重要的土壤速效养分,但由于盲目过量施肥,使其成为导致水体富营养化的最主要因素.研究并开发了一种低成本的钴基磷酸根离子电化学传感器.在一定条件下,采用恒电流沉积法...
  • 作者: 张思祥 张英杰 竭霞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  45-50
    摘要: 基于T矩阵模型,推导出单模光纤光镊对细胞的驱动力公式.以COMSOL Multiphysics5.3为仿真软件,首先模拟出单模光纤的磁场模和电场模分布,得出在纤芯处场强最大,激光聚焦于此,然...
  • 作者: 张益霞 李艳萍 郭星 郭锦玉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  51-56
    摘要: 基于磁致伸缩材料将巯基十一烷酸自组装于磁弹性芯片,经N-羟基丁二酰亚胺(NHS)和1-乙基-(3-二甲基氨基丙基)碳二亚胺盐酸盐(EDC)活化后固载癌胚抗原抗体(Anti-CEA),设计构建...
  • 作者: 史一明 王任鑫 白建新 程丽霞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  57-64
    摘要: 针对目前Ag/AgCl湿电极存在导电膏干涸而导致的信号质量变差、电极-皮肤接触阻抗变大等问题,提出一种可测量生物电信号的柔性干电极的制备方法.结合深反应离子刻蚀(DRIE)和湿法腐蚀工艺制备...
  • 作者: 冯孝为 吴婷 左春柽 张礼兵 李鹏 陈建洲 黄风立
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  65-70
    摘要: 以聚氧化乙烯(PEO)为直写溶液,光泽柔性绝缘相纸作为基板材料,采用自主研制的电流体动力学近场直写(ENDW)设备直写微图案.研究了工作电压、直写高度和直写溶液的质量分数等参数对PEO溶液的...
  • 作者: 程纪榕 蔡潇雨 赵军 邵力
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  71-77
    摘要: 为了在使用高倍物镜测量标准样板时获得高分辨率的样本整体区域信息,提出了一种基于尺度不变特征变换(SIFT)图像拼接算法的标准样板测量技术.首先通过高倍物镜获取局部三维结构,将其转化为二维灰度...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  77
    摘要:
  • 作者: 于洋 何希文 奚晶 张维军 李遥 栾洋 赵世坤 陈翔
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年1期
    页码:  78-84
    摘要: 作为一种在微米尺度操作流体的技术,微流控芯片具有反应体系小、通量高、自动化且操作灵活等优势,被越来越多地应用于细胞和微米尺度生物的研究中.秀丽隐杆线虫作为一种重要的模式生物被广泛地用于神经生...
  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  85-94,100
    摘要:
  • 作者: 张文婷 李嘉琳 桑玲 田丽欣 郑柳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  95-100
    摘要: 阐述了6 500 V 4H-SiC结势垒肖特基(JBS)二极管的设计、仿真和制备过程,并对流片结果进行了测试,分析了测试结果与仿真结果差异的原因.通过仿真对比分析了漂移区厚度、掺杂浓度、有源...
  • 作者: 宋志成 屈小勇 张天杰 郭永刚 高嘉庆
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  101-106,118
    摘要: 利用Silvaco-TCAD仿真软件建立二维模型,对n型异质结背接触(HBC)单晶硅太阳电池前表面场进行模拟研究.通过在n型单晶硅衬底正面分别引入一层较薄的本征非晶硅层和一层n+非晶硅层对电...
  • 作者: 张霞 李立松 李龙 杨文思 蒋浩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  107-110,139
    摘要: 为了研究不同尺寸的金纳米颗粒作为表面增强喇曼散射(SERS)活性基底对表面增强喇曼光谱的影响,采用氯金酸作为金源,柠檬酸三钠作为还原剂及保护剂,通过控制柠檬酸三钠的加入量合成了不同尺寸的金纳...
  • 作者: 刘伟景 匡旭良 叶子 孙宁 宋小军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  111-118
    摘要: 首先采用水热法制备了四种不同Sn掺杂量的一维Zn1-xSnxO纳米结构材料,然后通过介电泳纳米操控技术将制备的四种纳米结构排布到预先设计的Ti/Au电极之间,进而构建四种湿度传感器,并进行传...
  • 作者: 何常德 宋金龙 张文栋 王任鑫 薛晨阳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  119-125
    摘要: 为了满足采煤机械工作状态在线监测在线分析系统对微纳传感系统小型化和集成化的要求,设计了一种将压阻式振动传感器与铂电阻温度传感器集成的多参量微纳集成传感器.振动传感器由一个惯性质量块、八个梁和...
  • 作者: 姜家宗 孙远志 张伟 邬智宇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  126-132
    摘要: 针对微通道流动沸腾换热,对润湿性和微结构强化微通道换热的最新研究进展进行了综述.总结了近年在金属和硅表面采用的表面处理技术,包括改变微通道表面润湿性、制作出非均匀润湿性的微通道表面、改变微通...
  • 作者: 洪陵成 王丽平 郭天义
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  133-139
    摘要: 微型流式细胞仪综合了流式细胞术和微流体的优势,已成为生物医学、临床应用领域低成本的细胞检测、分析方法.微型流式细胞仪的一个新兴应用是快速检测低浓度的细胞或粒子.基于一种集成了片内光束整形和微...
  • 作者: 丁铮 关钧 端木庆铎
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  140-144
    摘要: 采用原子层沉积技术(ALD)在石英片和n型(100) Si上沉积高阻氧化锌铝(AZO)纳米叠层薄膜,通过扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)和体积表面电阻率测试...
  • 作者: 张成功 李以贵 王欢
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  145-150,156
    摘要: 利用块材钛酸锆铅(PZT)材料的逆压电效应设计并制备了可用于微泵驱动的压电驱动器,通过5种结构模型的仿真分析确定了压电驱动器的隔膜式结构,在获取较大中心位移的同时有效提高了结构强度,增加了驱...
  • 作者: 周海 梁志强 韦嘉辉 高晗
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  151-156
    摘要: 为了去除蓝宝石化学机械抛光(CMP)后表面残留的抛光液,采用表面活性剂复配清洗法,选用非离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚9 (AEO9)和阴离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠(AES)按不同...
  • 作者: 刘玉岭 徐奕 王辰伟 马腾达
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  157-166
    摘要: 研究了碱性阻挡层抛光液中各组分对Cu、Ta和正硅酸乙酯(TEOS)去除速率的影响.通过单因素实验分别考察了磨料、FA/O Ⅱ螯合剂、KNO3和FA/O Ⅱ表面活性剂质量分数和H2 O2体积分...
  • 作者: 冀婷 崔艳霞 李国辉 范明明 郝玉英 高娟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  169-176
    摘要: 近年来,钙钛矿材料由于其带隙可调、吸收系数高、成本低等优势在国际上备受瞩目.其中,单晶钙钛矿具有优于多晶钙钛矿的光学、电学特性,成为制备高性能光电器件的理想材料.从钙钛矿的基本分子组成和化学...
  • 作者: 丁建桥 张自军 武科迪 苏宇锋
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  177-186
    摘要: 抗磁悬浮是利用物质对磁场的排斥力实现磁悬浮,作为磁悬浮技术的一个分支,是一种真正意义上的无接触悬浮.按照不同的应用领域,从传感器、执行器、能量采集器、生物科学以及自组装等方面对抗磁悬浮结构进...
  • 作者: 吕国良 张航 徐甲然 杨秀钰 石岱星 陈吉堃 陈诺夫 陶泉丽
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  187-194
    摘要: 反射率对太阳电池的性能至关重要.采用电化学法在单晶硅衬底上制备多孔硅来降低器件的反射率,并采用快速热退火法对多孔硅层进行磷扩散处理,进而制备了单晶硅太阳电池.扫描电子显微镜(SEM)显示出单...
  • 作者: 刘帅 姚路 章琴
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  195-199
    摘要: 共价有机框架(COF)材料是一种特殊的结晶性有机多孔材料,具有多种有机官能团结构,同时有着非常低的骨架密度以及较高的比表面积.通过熔融热法制备TpPa-COF材料并与导电性能优异的多壁碳纳米...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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研究主题
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