微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者: 刘建达 胡丹丹 郭永刚
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  200-203,217
    摘要: NiO是一种天然p型直接带隙半导体材料,首次采用磁控溅射的方法在n型4H-SiC(0001)衬底上淀积NiO薄膜,制作p-NiO/n-4H-SiC异质结.研究了氧气和氩气体积流量对NiO薄膜...
  • 作者: 冯竹 周勇 支绍韬 郭磊 闫丽丽 雷冲
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  204-210,223
    摘要: 石墨烯由于其独特的组成结构,具有极其优异的电学性能,基于石墨烯薄膜的电子器件越来越受到研究者的关注.通过将石墨烯与微型导电线圈结合,探究石墨烯对线圈微电感性能的影响.滴涂石墨烯并通过三组对比...
  • 作者: 吕文 谭秋林
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  211-217
    摘要: 提出了一种采用丝网印刷和亚胺化工艺制备的LC无线无源技术的二硫化钼(MoS2)/聚酰亚胺(PI)湿度传感器.对比了不同超声时间下的二硫化钼/聚酰亚胺复合材料的湿度敏感性能,得出对湿度最灵敏的...
  • 作者: 刘俊 唐军 赵彬彬 赵锐 郭浩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  218-223
    摘要: 金刚石氮空位(NV)色心系综磁力计的灵敏度受激光激发效率的影响很大.对此通过增加激光与金刚石的接触面积来提高NV色心的激发效率,搭建了共聚焦磁检测系统.建立了NV色心的原子模型,根据其磁检测...
  • 作者: 侯鹏飞 王瑞荣
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  224-227,238
    摘要: 提出一种基于导电聚合物聚(3,4-亚乙二氧基噻吩)-聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT∶PSS)与碳纳米管(CNT)复合纳米材料的柔性应变传感器.介绍了复合纳米材料的制备、应变传感器的制备与封装以...
  • 作者: 杨淞义 王志华 苗双 黄以诚
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  228-232,238
    摘要: 由于机器人、便携式设备的快速发展,对传感器提出了小体积、高灵敏度的新要求.基于固体柔性聚合物与液体之间的摩擦起电,传感器在接触面积与摩擦两方面有优势,使其具有很好的发展前景.提出一种基于聚四...
  • 作者: 丑修建 何剑 张晶 石树正 穆继亮
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  233-238
    摘要: 可控剥离技术(CST)作为一种薄膜制备方式已被广泛应用于柔性领域,例如硅基柔性太阳电池等.首先采用溶胶-凝胶法先后在普通硅基底上制备镍酸镧(LaNiO3)缓冲层和锆钛酸铅(PZT)薄膜.通过...
  • 作者: 唐文来 张馨宇 徐泽玮 朱莉娅 李宗安 杨继全 袁哲 迟翔
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  239-247
    摘要: 传统加工方法制作PDMS微流控芯片中的微通道存在诸多限制,特别是难以实现复杂三维微通道的加工.首先介绍了微通道的传统加工方法,接着简要介绍了不同3D打印技术的基本原理,最后重点阐述了3D打印...
  • 作者: 刘磊 刘阳 张胜兵 王帆
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  248-252
    摘要: 为了提高MEMS陀螺的品质因数(Q值),提出了一种晶圆级真空封装工艺.先在陀螺盖帽晶圆上刻蚀出浅腔,然后在浅腔结构上制备钨(W)金属引线,再通过PECVD工艺淀积介质层,在介质层上制备钛/金...
  • 作者: 冀婷 崔艳霞 李国辉 范明明 郝玉英 高娟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  253-262,295
    摘要:
  • 作者: 梁孔科 王明甲
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  263-268
    摘要: 针对新型量子点-量子阱光电探测器在不同的辐照功率和器件偏压下的电特性测试,采用曲线拟合的方法,得到不同辐照光功率下的I-V、C-V之间的函数关系,应用Verilog-A语言建立等效电路模型,...
  • 作者: 张瑜 王晓钰 石永吉 魏良明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  269-273,318
    摘要: 羧甲基纤维素钠(CMC-Na)与羧甲基纤维素(CMC)都是制作锂电池的常用粘结剂.粘结剂的粘度和分子量通常会对锂电池的电化学性能产生很大的影响.基于纳米的硅作为锂电池优异的负极材料,针对CM...
  • 作者: 姚江峰 孙睿 相文峰 董子斌 赵嵩卿 陈少华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  274-278
    摘要: 采用滴加法制备了Ni-Al层状双金属氢氧化物.用扫描电子显微镜(SEM)、能量色散谱仪和X射线衍射仪等方法对样品进行形貌和结构表征.结果 表明:样品是由大小在几百纳米到几微米的多晶颗粒组成....
  • 作者: 刘洋 杨潇楠 毛海央 王玮冰 范文兵 黄成军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  279-284,302
    摘要: 基于微流控梯度网络理论和相关的数学模型,设计了一种新型的浓度倍比稀释微流控芯片结构,对其混合和稀释功能进行了仿真,并结合微加工工艺进行了芯片制备.初步实验结果表明,芯片两个入口处分别以3.2...
  • 作者: 周天浩 谭秋林 郭倩倩 郭涛
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  285-289
    摘要: 将碳纳米管(CNT)粉末以及氧化铜(CuO)粉末掺杂作为传感器的气敏材料,并通过旋涂的方式涂覆于敏感线圈.设计并简化了传感器的结构,通过丝网印刷工艺在基底上制备线圈.利用线圈的寄生电容与线圈...
  • 作者: 倪雷 姜涛 马宁
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  290-295
    摘要: 针对20 000g超高加速度冲击下微电子机械系统(MEMS)陀螺微弹性梁限位块的参数合理设计,通过建立微弹性梁-限位块碰撞系统动力学方程,分析限位刚度和限位距对弹性梁冲击响应的影响以及弹性梁...
  • 作者: 崔峰 罗忠辉 肖奇军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  296-302
    摘要: 给出了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的静电悬浮微加速度计(MESA),其主要由上定子、质量块和下定子组成.采用力平衡原理和力矩平衡原理可同时测量三轴线加速度和三轴角加速度,即对质量块...
  • 作者: 史光华 周彪 常青松 张延青 徐达 王建 王真 白锐
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  303-313
    摘要: 矩形微同轴技术已成为射频微电子机械系统(RF MEMS)的一个重要发展方向.矩形微同轴的电性能相比于传统的传输结构(如微带、共面波导等)在毫米波宽带领域具有巨大优势.从结构、性能等方面对矩形...
  • 作者: 姚广宇 孔祥东 李艳丽 韩立
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  314-318
    摘要: X射线波带片是X射线显微成像系统中用于聚焦及成像的核心元件,提高波带片性能参数,更利于X射线显微成像技术的广泛应用.选择可精确控制厚度的原子层沉积(ALD)法结合聚焦离子束(FIB)切割法制...
  • 作者: 刘文儒 朱丽
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  319-325,338
    摘要: 介绍了一种基于液滴打印技术制作纸质微流控芯片的简单方法.蜡以液滴的形式喷射到滤纸上,加热蜡图案形成疏水屏障,用于生物试剂测定.制作的玻璃微喷嘴无需复杂的制造技术,成本低廉,简单且容易制作.喷...
  • 作者: 庞宁 张哲轲 徐少辉 熊大元 王连卫 金振宇 钱瑞 陈南
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  326-331
    摘要: 通过溶剂热法在石墨毡(GF)上制备碳点(CD),将其作为电极,在碘化锌(ZnI2)电解液中测量其电化学性能,研究其作为ZnI2储能器件的电极对储能器件性能的影响.主要通过不同制备时间的溶剂热...
  • 作者: 刘军 吴园园 周文勇 李嵬
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  332-338
    摘要: 提出了一种新的基于RF CMOS技术的金属-氧化物-金属(MOM)电容宽频带建模方法.为了提高模型精度、扩展有效频带,模型在构造时加入了测试焊盘和输入/输出互连线的等效电路.测试结构是基于自...
  • 作者: 任学明 唐群涛 沈鸿烈 王明明 陈春明 顾浩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年5期
    页码:  341-345,363
    摘要: 利用旋涂法将自制的聚苯乙烯(PS)微球涂覆到不同厚度的单晶硅片上,作为钝化发射极和背面电池(PERC)的背接触开口的掩模,然后用快速热退火工艺使PS微球挥发形成PERC电池的背接触开口,最后...
  • 作者: 朱贤方 程亮 苏江滨 陈春彩 韩杰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年5期
    页码:  346-350,375
    摘要: 借助高分辨透射电子显微镜(TEM)原位观察了室温时在相同电子束辐照条件下不同形态多壁碳纳米管(MWCNT)的结构不稳定性转变.实验发现:两端固定、轴向平直的MWCNT直径均匀收缩,且收缩速率...
  • 作者: 崔艳霞 张叶 李国辉 王启航 王文艳 郝玉英
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年5期
    页码:  351-357
    摘要: 超材料窄带滤色片由于结构紧凑、体积小、制备工艺简单和成本较低等优点,其常被用于光电探测和成像系统等领域.利用银和二氧化硅交替膜制备的周期性超材料狭缝阵列,实现了在可见光范围中心波长可调的窄带...
  • 作者: 刘惠生 孙同年 孙士文 孙聂枫 杨瑞霞 王书杰 王昊宇 田树盛 陈春梅
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年5期
    页码:  358-363
    摘要: 采用光学显微镜与红外透射显微镜相结合的方法,研究了磷化铟(InP)晶片中铟夹杂的形貌,通过比较含有铟夹杂的晶体与晶片,总结了铟夹杂在富铟磷化铟中的纵向与横向分布行为,并分析了熔体组分配比度、...
  • 作者: 何锐 刘旋 李东 王晶莹 相文峰 陈少华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年5期
    页码:  364-367
    摘要: 提出了共溶胶双水解的方法来制备SiO2基复合纳米材料,并用氧化镍作为复合对象来制备SiO2/NiO复合纳米颗粒.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能量色散谱(EDS)和透...
  • 作者: 刘伟景 叶子 孙宁
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年5期
    页码:  368-375
    摘要: 通过水热法制备不同原子数分数铜(Cu)掺杂氧化锌(ZnO)纳米棒材料,并通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)对所制备样品的结构形貌及表面价态进行...
  • 作者: 周围 张思祥 张英杰 李默 竭霞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年5期
    页码:  376-381
    摘要: 提出了基于电力聚焦的单模光纤耦合激光分选细胞的方法.基于电力聚焦模型和光镊原理,推导出中心聚焦流宽度公式和光纤光镊对细胞的散射力公式.在Comsol Multiphysics 5.3中建立层...
  • 作者: 刘国伟 席占稳 聂伟荣 黄刘
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年5期
    页码:  382-388
    摘要: 基于伯努利方程建立惯性力作用下流体在蛇形微通道的流动方程.为预测惯性力作用下微流体的流动特性,提取了方程黏性力项中的阻尼特征系数,采用三层神经网络,建立微通道的结构特征参数与阻尼特征系数的映...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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