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微纳电子技术2019年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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22
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121. 低温共烧陶瓷材料的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年10期页码:摘要： 简述了低温共烧陶瓷(LTCC)介质基板的优缺点,介绍了国内外LTCC基板材料的主要生产厂商,综述了LTCC材料中的玻璃/陶瓷体系和微晶玻璃体系.分析介绍了国内外主要研究机构开发的玻璃/陶瓷材...
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122. 一种用于称重的矩形微通道式微悬臂梁刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年10期页码:摘要： 矩形微通道式微悬臂梁传感器可用于检测单个微粒子或细胞的质量,在生物和化学等领域具有非常广泛的应用前景.设计了一种含有矩形微通道的微悬臂梁结构,建立了单个微粒子等效的集中载荷在微悬臂梁中矩形微...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年10期页码:摘要： 颅内压力的监测对颅内疾病的诊断和治疗有重要的作用,基于硅的压阻效应,设计了一种可用于人体颅内压力监测的植入式压力传感器.根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了颅压传感器力学结构和电学性能的设...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年10期页码:摘要： 微电子机械系统(MEMS)陀螺仪输出易受环境温度的影响,产生温度漂移,测量精度降低,为解决这个问题,提出一种萤火虫算法(FA)优化BP神经网络的温度漂移补偿方法,在传统的BP神经网络中,存在...
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125. SOI压阻式面内加速度传感器的交叉灵敏度刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年10期页码:摘要： 设计了一种基于绝缘衬底上硅(SOI)片的面内振动压阻式加速度传感器,并针对其交叉灵敏度性能进行了研究,分析得出传感器的灵敏度与压阻微梁的轴向应力呈正比关系,并通过仿真说明该结构形式的加速度传...
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126. 基于微流体的ZnO纳米线的合成刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年10期页码:摘要： 微流控芯片在纳米材料的合成方面具有突出的优势,在芯片中通过微流体的操控制备ZnO纳米线,并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和能谱仪(EDS)对制备得到的ZnO纳米线的表面...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年10期页码:摘要： 磨粒结构在化学机械抛光(CMP)过程中发挥重要作用.利用化学沉积技术在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)表面嫁接氧化铈(CeO2)纳米粒子,得到了核壳结构的PMMA-CeO2复合颗粒.借助X射线衍...
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128. 基于3D打印技术的微电子器件制造刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年10期页码:摘要： 传统微电子加工工艺存在着诸多限制,尤其是无法实现具有复杂三维(3D)结构的微电子器件的加工.首先,简述3D打印的工艺流程,并详细介绍了用于微电子器件制造的三种典型3D打印技术.随后,从刚性电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年11期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年11期页码:摘要： 将一种电压阈值型压控双极性忆阻器模型与CMOS反相器进行混合设计,实现了“与”、“或”、“与非”、“或非”基本逻辑门.通过构建“异或”逻辑门新结构,提出一种基于混合忆阻器-CMOS逻辑的全加...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年11期页码:摘要： β-Ga2O3是一种新兴的超宽禁带半导体材料,具有超宽带隙4.8 eV、超高理论击穿电场8 MV/cm以及超高的Baliga品质因数等优良特性,作为下一代高功率器件材料其越来越受到人们的关注...
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132. 单晶硅电池表面织构与光电特性的关系刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年11期页码:摘要： 针对在单晶硅片表面制备陷光织构可提高吸光率,但同时将导致光生伏特效应被削弱的问题,定义了电池的光学特性系数和电学特性系数,以表征电池光电特性.通过采用不同的化学制绒工艺参数,在单晶硅片表面获...
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133. 石墨烯量子点光学非线性特性及其应用进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年11期页码:摘要： 石墨烯量子点(GQD)是碳量子点的一种,不仅具有碳量子点的优良性质,还具有其他量子点无法比拟的光学特性.概括了石墨烯量子点光学非线性原理特点,由于其二阶或三阶非线性电极化强度决定非线性光学的...
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134. 多用途全玻璃微流控芯片流通检测池刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年11期页码:摘要： 以玻璃为基材的微流控芯片具有光学透明、亲水性好和强度高的特点.介绍了一种具有可更换丝状电极的全玻璃微流控芯片流通检测池.该芯片通过玻璃光刻、湿法刻蚀和热封合制备.一对Pt丝电极通过平行的脊突...
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135. 高分辨率MEMS纤毛式湍流传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年11期页码:摘要： 国外的剪切流传感器已经趋于成熟,但仍存在测试信息量单薄、空间分辨率不高和价格昂贵的缺点.提出了一种新型高分辨率微电子机械系统(MEMS)湍流传感器,通过MEMS工艺的微结构实现湍流传感器的高...
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136. 新型电磁铁驱动的撞针式微滴喷射装置刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年11期页码:摘要： 液滴喷射技术具有广泛的应用前景和技术优势,结合现有技术设计了一种能够实现有效的微滴喷射的装置,该装置基于电磁铁驱动,采用撞针式结构.本装置包括电磁铁、滑轨、撞针、喷嘴、弹簧、垫圈等几个主要部...
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137. 氮等离子体处理的抑制用于改善钨填充刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年11期页码:摘要： 在体钨生长过程中使用原位氮等离子体处理成功实现了无孔洞钨填充.通过氮等离子体处理,钨转化成了氮化钨,其作为抑制剂引起结构顶部钨薄膜的生长延迟.因此,消除了结构顶部薄膜封口,并且实现了无孔洞的...
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138. 结构化晶圆表面厚胶喷涂工艺刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年11期页码:摘要： 采用超声雾化喷涂技术,以AZ4620光刻胶为研究对象,以硅通孔(TSV)刻蚀后的硅片为基材,在12英寸(1英寸=2.54 cm)结构化晶圆表面喷涂光刻胶形成薄膜.分别研究了稀释质量比、超声功...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年11期页码:摘要：
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140. 基于纤维素的可穿戴电子设备研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年12期页码:摘要： 综述了纤维素基可穿戴电子设备作为人体“第二皮肤”近期取得的研究进展,尤其是在医疗保健领域,“第二皮肤”的发展和应用将会是人们实现健康管理和动态治疗的有效途径.指出了“第二皮肤”的固有特点:一...
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141. 软体机器人研究现状刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年12期页码:摘要： 介绍了软体机器人的发展和研究现状,重点总结了目前软体机器人在驱动方式、建模控制、制造工艺等方面存在的难题.其驱动方式主要有气动驱动和智能材料驱动,介绍了各驱动方式的科学原理及典型驱动结构,软...
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142. 微针阵列干电极的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年12期页码:摘要： 生物电信号与人体的健康状况密切相关.如何实现长期监测心电(ECG)、脑电(EEG)、肌电(EMG)和其他各种生物电信号成为当前研究中亟待解决的难题.微针阵列干电极(MNAE)采用刺入式微针电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年12期页码:摘要： 叉指背接触太阳电池因前表面无栅线所带来的高短路电流及栅线位于背面所获得的组件高密度封装的优势,吸引了众多光伏制造者的关注.然而,由于电池背面的p+发射区和n+背表面场(BSF)区呈交叉分布,...
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144. 全耗尽SOI器件源/漏区抬升结构的形成刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年12期页码:摘要： 介绍了在全耗尽绝缘体上硅(FDSOI)结构上,通过在SOI表面外延生长形成金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)源/漏区抬升结构的方法.研究了不同的工艺参数对外延生长的影响,从而在合适...
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145. ZnO纳微分级结构的形貌调控及其气敏性能刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年12期页码:摘要： 采用水热法,通过调控反应温度得到了具有不同微观形貌的ZnO纳微分级结构.扫描电子显微镜(SEM)结果表明,纳微分级结构分别由纳米棒或纳米片按不同方式堆积而成.X射线衍射(XRD)结果表明,所...
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146. 氧化锌薄膜体声波谐振器制作重复性和均匀性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年12期页码:摘要： 通过磁控溅射靶材的成分调控和一系列优化过的微电子机械系统(MEMS)工艺,成功研制了基于氧化锌(ZnO)压电薄膜的固体装配型薄膜体声波谐振器(FBAR).通过使用性能优异的靶材,所得到的器件...
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147. 用于流速测量的微型力传感器的研制刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年12期页码:摘要： 设计并仿真了一种压阻式六自由度力传感器及其测量电桥,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以单晶硅为结构材料的六自由度力传感器,完成了传感器芯片的封帽式封装.压阻式六自由度力传感器的尺...
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148. 空心硅通孔的设计及其传输性能刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年12期页码:摘要： 硅通孔(TSV)能够实现信号的垂直传输,是微系统三维集成中的关键技术,在微波毫米波领域,硅通孔的高频传输特性成为研究的重点.针对微系统三维集成中,无源集成的硅基转接板的空心TSV垂直传输结构...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年12期页码:摘要： 分别采用溶液法和磁控溅射法制备了TiO2薄膜.其中对采用磁控溅射法制备的样品进行了退火.用扫描电子显微镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌,表征结果发现,与溶液法制备的TiO2薄膜相比,采用磁控...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年12期页码:摘要： 铜具有低电阻率和高抗电迁移性,是目前极大规模集成电路的主流金属互连材料.化学机械抛光(CMP)是实现铜表面局部与全局平坦的关键工艺.为获得铜互连较高的凹凸材料去除速率选择比,通常需在CMP抛...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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