真空期刊
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真空

Vacuum
曾用名: 真空技术报导

CACSTPCD

影响因子 1.1128
本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来,由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会,并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增,在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来,被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉:
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊  工程技术类核心期刊 
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
出版周期:
双月刊
邮编:
110042
地址:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
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2692
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  • 作者:
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  1-11
    摘要: 贝塞尔盒型能量分析仪由三部分组成:一个圆筒形电极、一个中心圆盘和两个带中心孔的侧板,该分析仪结构简单、结实,十分适用于电离规和四极质谱计上.对电离规而言,分析仪被放置于电离器及离子收集器之间...
  • 作者: Amanda Horn Douglas Dopp Han Xu Mohamed Boumerzoug Richard Bersin 姜健
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  12-16
    摘要: 除去干刻或高剂量等离子注入后的光刻胶,一般是采用化学溶剂和酸类等湿刻法,以前有时采用干燥氧的等离子灰化法.然而成本高,具有危险性和污染性的化学湿刻法直接造成了环境污染,使得全球气候变暖,能源...
  • 作者: 刘翔宇 杨美芹 查良镇 范垂祯 许生 赵来 陈旭 高文波
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  17-20
    摘要: 具有高折射率的TiO2膜在反射型液晶显示器的关键部件高反射率背板膜系的制备中起重要作用.本文使用国内首家在线中频双靶反应磁控溅射设备进行了制备TiO2膜的探索,完成了相应的膜层测试与分析.实...
  • 作者: 徐成海 赵克中
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  21-24
    摘要: 阐述了磁力驱动技术用于真空动密封的原理、特点、磁力驱动密封装置的分类及选择等问题.并就磁力驱动真空动密封装置在国内的发展和应用等问题进行了介绍.
  • 作者: 赵龙章
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  25-28
    摘要: 提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成TiN薄膜, 研究了TiN薄膜的性能及其频率偏离特性. 对生物检疫和液体粘度等动态测定有广阔的应用前景.
  • 作者: 周云飞 李鸿
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  29-32
    摘要: 在大量试验的基础上,总结了磁控溅射中海绵的传动特性,设计了微张力海绵卷绕系统,建立了传动控制的数学模型.经大量试验和使用证明,该设计满足了磁控溅射中海绵卷绕的要求.
  • 作者: 周志文 薛华
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  33-35
    摘要: 变频调速器的应用越来越广泛.本文简单介绍了用变频调速器在卷绕式镀膜机中实现两段张力控制的方法,对其中的控制原理及抗干扰方面进行了简单的说明.
  • 作者: 须毅敏
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  36-39
    摘要: 主要研究在真空感应熔炼921A焊丝和HZS60B焊芯钢丝时,通过对原材料的运用、主要合金成分的控制、控制熔炼真空度降低气体含量等方面的工艺研究,找到了在真空感应熔炼条件下熔炼921A焊丝和H...
  • 作者: 方平伟 计波
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  40-41
    摘要: 探讨铅在钛合金中的强化效果.由于铅和钛在密度、蒸汽压、熔点方面相差太大,因此带来真空熔炼含铅钛合金十分困难.因此至今尚无人对含铅钛合金的强化效果进行研究.笔者由于基本解决了这一难题,因此有可...
  • 作者: 张连进
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  42-45
    摘要: 论述了低压真空渗碳(LPC)工艺和设备的最新发展,介绍了低压真空渗碳技术的优点及在工业领域的应用,指出该技术将以其显著的优点而成为未来渗碳领域的主流产品.
  • 作者: 于浩 周清 商伯涵 常禄 梁翠果 谢宝森 赵守珍
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  46-48
    摘要: 光电平板显示屏对其电子源发射均匀性的要求较高,而Cs3Sb的常规工艺不能满足要求.本文报告了制备均匀性较好的Cs3Sb电子源的基本过程和对其光电特性的测试结果.目前,电子源的光电流还较小,但...
  • 作者: 严东海 王志文
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  49-52
    摘要: 四极质谱计用于等离子体诊断时常常面临质谱计工作上限问题和四极质谱计离子源所产生的本底组分分压强导致测量结果有较大误差的问题;为使四极质谱分析能作为等离子体诊断的常规手段,必须拓展四极质谱计测...
  • 作者: 周湘杰 盛晓东
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  53-54
    摘要: 匀胶设备是光刻工艺中不可缺少的重要设备,设备的运转情况直接影响到匀胶及光刻片的质量.本文重点讨论了转动组件的设计及唇形密封圈的应用.
  • 作者: 余风强 张志军
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  55-56
    摘要: 指出新的抽速公式在扩散泵范畴内应用是正确的,在其他泵类应用时就不一定正确.
  • 作者: 骆定祚
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  57-59
    摘要: 本文为<实用真空技术>一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对真空泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值.
  • 作者: 张以忱
    刊名: 真空
    发表期刊: 2003年1期
    页码:  60-62
    摘要:

真空基本信息

刊名 真空 主编 陆国柱
曾用名 真空技术报导
主办单位 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所  主管单位 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1002-0322 CN 21-1174/TB
邮编 110042 电子邮箱 zkzk@chinajournal.net.cn
电话 024-24134406 网址 www.vacjour.cm
地址 辽宁省沈阳市万柳塘路2号

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期刊荣誉
1. 中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
2. 工程技术类核心期刊

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