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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 本文从理论上分析了磁控溅射镀膜中基片的运动方式对沉积薄膜厚度均匀性的影响.在考虑了溅射环内不同位置刻蚀权重的情况下,对静止、直线往复运动(以下简称平动)、平动结合转动、平动结合转动并在折返处...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 磁控溅射颗粒表面涂层技术相对于流化床CVD工艺来说,在安全、环保、杂质含量控制方面具有较大优势.本文分析了磁控溅射颗粒涂层技术的基本原理、面临的问题与挑战,介绍了国内外磁控溅射颗粒涂层技术的...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 近年来,随着磁控溅射技术的应用日趋广泛,磁控溅射已发展为工业镀膜生产中最主要的技术之一,但磁控溅射也暴露出靶材的利用率、沉积效率、薄膜均匀性、镀膜过程中的稳定性等急需解决问题.本文就国内外厂...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 采用中频磁控溅射离子镀技术在贫铀表面以不同脉冲偏压制备了铝镀层,利用X射线衍射仪和扫描电镜对镀层的组织结构进行了表征,利用扫描电镜与俄歇电子能谱仪对镀层与基体的界面特性进行了研究.结果表明:...
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5. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 建立180L/s螺杆真空泵三种不同冷却结构转子的温度场有限元模型,得到这三种冷却结构转子的温度场和热形变分布情况,分析了冷却结构对转子热形变量的影响.结果表明:第一种冷却结构最大热形变量为0...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 本文把试验研究提高到一个前所未有的高度来认识,罗茨泵的特性和质量是设计和制造出来的,试验是产品特性的前导和鉴证.分析探讨了试验研究与设计、工艺之间的关系,以及它们对罗茨泵的特性,如漏率、零流...
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8. 漏孔泄漏量的研究刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 针对穿过漏孔气体流量进行定性和定量的分析.特别着重地讨论漏孔的泄漏量会怎样受到气体类型、压力和温度的影响.(1mbar=100Pa)
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 为满足全封闭α能谱测量系统研制的要求,设计了用于α能谱测量系统的全封闭真空装置.该装置主要由α样品真空室、α真空室连接组件、抽放气装置和尾气排放装置等非标件构成,配以机械真空泵,其真空度可达...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 为实现复杂光学膜层的连续稳定镀制,提高生产效率,减少废品损失,利用Labwindows CVI 8.0软件和NI DAQmx 8.0函数支持库开发膜厚自动监控软件,结合数据采集和控制扩展卡,...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 为更好地理解低气压、弱电离条件下潘宁离子源放电过程中离子和电子的动力学行为,建立了简化小型氢气潘宁离子源放电物理模型,采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法,考虑了电子与氢气之...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 由于真空玻璃的导热系数测量复杂,本文提出一种基于非稳态传热过程的软测量表征真空玻璃导热系数的模型.首先,在连续介质与半无限大物体的前提下,采用能量守恒定律与拉普拉斯变换法,对数学物理模型进行...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 本文利用有限元方法对HL-2M真空室塞焊强度进行分析,根据ANSYS软件计算结果,应用ASME标准进行评价.经过两次优化设计,确定真空室两层壳体之间的加强筋板结构,给出塞焊点尺寸及间距值.并...
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14. 功能化石墨烯选择性吸附重金属离子刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 重金属离子污染日益严重,石墨烯作为一种新型碳材料在吸附重金属离子方面具有巨大潜力.本文通过尝试,探索出基于酯化反应将功能团乙二胺四乙酸(EDTA)连接到氧化石墨烯(GO)表面合成功能化氧化石...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 对分段线性滞回模型和双曲函数滞回模型进行了研究,揭示了这两种滞回模型在分析振动压实-土系统动力学特性时存在的局限性,并提出了一种新的适合振动压实-土系统的非线性滞回模型.通过数值分析结果与试...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 在磁约束聚变装置中,高温等离子体放电中粒子的实时排出不仅可以减少燃料粒子在第一壁的滞留,还可以排出一定的杂质,有利于下一次等离子体放电的实现.对于未来聚变装置,如ITER,还有利于减少氚滞留...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 电子束熔化逐层成型技术(Electron Beam Melting,EBM)是一种新兴的快速成型技术,它可以通过计算机直接“输出”形成实物,近几年受到了社会的广泛关注.本文对EBM成型技术的...
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刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要： 共晶焊接设备的温度均匀性直接决定焊接电子元器件的质量,因此设备的温度场设计成为共晶焊接设备的关键.本文首先设计了由加热元件(红外灯管)、热板、反射板和隔热板组成的加热组件;其次应用试验测试和...
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19. 第十九讲真空溅射镀膜刊名： 真空发表期刊： 2016年4期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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