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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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2692
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 等离子冶炼具有一系列特点,能够加快热传导、物质交换和化学反应过程,从而强化冶炼过程;能够与其它冶炼手段配合使用,形成等离子电渣工艺、等离子感应重熔工艺等;在冶炼难熔金属、培养难熔金属单晶体、...
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 本文介绍了国内首台多室隧道连续式真空烧结炉的设计原理和研制过程.介绍了其应用背景、系统构成、各主要单元的工作原理,并根据相关技术需求开发设计出一套有自己特色的生产设备.
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3. 扩散泵的现状及发展趋势刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 本文简述扩散泵的原理、特点、分类、用途,回顾国内扩散泵发展的历史进程,分析扩散泵的现实水平、状况,探讨扩散泵未来的发展前景.
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 中国散裂中子源(CSNS)质子加速器由产生能量为80MeV的负氢离子直线加速器、直线加速器到环(LRBT)和环到靶(RTBT)的束流输运线、以及积累和加速质子束到1.6GeV的快循环同步环(...
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 某条高压低温液氧管线是在某氢氧发动机关键技术攻关阶段和模样阶段,为某型号发动机提供高压液氧介质的保障系统,在这条管线上有4个承受高压的波纹补偿器,在某次系统常温气密试验时,4个波纹管出现不同...
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 建立了由喷射器、蒸发器、发生器和冷凝器等组成的蒸汽喷射制冷循环系统.研究了不同的扩压器等直段直径对喷射器抽气性能的影响.当扩压器等直段直径由24mm增加到28mm后,喷射器的引射系数显著增加...
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 真空装置门体运动机构可靠性是影响真空装置可用性的关键因素,针对新型的真空装置门体运动机构,本文在故障模式分析的基础上,建立了运动机构故障树模型,进行最小割集分析,对故障树进行了定性和定量分析...
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 秸秆粉碎机是实现生物质能源优质开发利用的基础设备,其抑尘结构的设计优化则是实现粉碎机安全环保运行的关键.本研究设计了一种变径式粉碎机,通过转子刀片高速旋转与变径结构产生低真空区域,在粉碎机进...
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： Low-E玻璃镀膜线C1室,是整条生产线非常重要的真空室,它的节拍决定了整条生产线的最快节拍.本文对C1室的设计提出了一系列要求,给出了相应的设计原则,从降低设备制造成本、降低能耗、增加设备...
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10. 高介电氧化铪薄膜的制备与性能研究刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 采用磁控溅射法分别在Si片和玻璃片上制备了HfO2薄膜,并用SEM、XRD、XPS、紫外可见分光光度计和HP4284A精密LCR测试仪对HfO2薄膜的表面形貌、微观结构、组成成分、光学特性和...
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 报道了一种新型PE-ALD工艺用于沉积碳化钴薄膜.以脒基钴为前驱体,在氢等离子体作用下,成功制备了碳化钴薄膜.薄膜厚度与沉积循环关系显示薄膜生长为理想的逐层生长行为,100℃下薄膜生长速率为...
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 本文通过直流磁控溅射法在96氧化铝基板上沉积镍铬硅薄膜,然后采用光刻及湿法刻蚀工艺实现不同要求的电阻图形.图形化过程中,分别对比HNA刻蚀体系、TMAH刻蚀体系以及催化氧化刻蚀体系的刻蚀效果...
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13. 柔性镀膜材料在电路板行业的应用刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 本文主要介绍了柔性镀膜材料的制备方法、应用发展状况以及柔性镀膜材料在柔性电路板行业的应用和发展趋势,重点阐述了采用真空磁控溅射工艺制取高性能柔性电路板材料的研发和制备过程.
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 由于缺乏统一规范,如何用酒精高效快速的确定漏点一直是真空镀膜企业重点关注的问题.本文通过对真空镀膜设备的喷酒精检漏的有效性开展研究,并用氦质谱检漏进行验证与标定,系统研究了气压工作范围、抽气...
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 以法布里-珀珞滤光片(Fabry-Perot filter)结构为模型进,通过对间隔层干涉级次的计算优化,在理论上得到初步具有三通道特性的滤光片结构;为了进一步减少通道半带宽和提高滤波特性,...
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 真空冷冻干燥(简称冻干)因在低温低压下进行,制备的粉体硬团聚少、粒径小且均匀,已经发展成为制备无机纳米粉体的一种重要方法.本文综述了冻干法在制备无机纳米粉体中取得的最新进展及工艺方法,探讨了...
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17. 第二十讲真空离子镀膜刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2019年5期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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