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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 1. Si(111)表面亚稳态重构的STM研究
    作者： 侯士敏 刘惟敏 申自勇 薛增泉 赵兴钰 郭等柱 陶成钢
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  243-246
    摘要： 利用扫描隧道显微镜(STM),研究了Si(111)表面的2×2、c2×4、9×9和11×11等各种亚稳态结构.与已经发表的研究结果相比:2×2和c2×4重构区域规则且面积更大,原子分辨的图像...
  • 2. 退火温度对TiO2薄膜结构和表面形貌的影响
    作者： 侯亚奇 吴敏生 庄大明 张弓 赵明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  247-251
    摘要： 研究了退火温度对中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2薄膜结构和表面形貌的影响.利用X射线衍射仪和原子力显微镜,检测了TiO2薄膜的晶体结构和表面形貌.实验结果显示:沉积态TiO2薄膜为非晶...
  • 3. 用SPM纳米刻蚀方法在Ti表面制备纳米结构的研究
    作者： 侯士敏 申自勇 薛增泉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  252-254，259
    摘要： 本文用导电原子力显微镜(AFM)针尖诱导局域氧化反应的方法,在Ti膜表面制备了TiO2纳米结构.实验结果表明,Ti膜的氧化阈值为-7伏,制备的TiO2纳米线的最小线宽达到10 nm,TiO2...
  • 4. 曝光台校正透镜修正效果的检测
    作者： 应根裕 李刚 汪健如
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  255-259
    摘要： 检验曝光台校正透镜的修正效果,通常是通过在生产线上实际制管来进行.这种方法费时费力,并且存在各制作工序误差的积累.本文研制了一种装置,通过检测透镜修正前后光落点在荧光屏内表面的落点位移,直接...
  • 5. 优化HFCVD系统内衬底温度场的数值研究
    作者： 戚学贵 王冠中 陈则韶
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  260-264
    摘要： 热丝对衬底的辐射是决定热丝化学气相沉积金刚石薄膜系统内衬底表面温度分布的主要因素.本文基于辐射传热基本原理,并考虑变热物性衬底的横向热传导,改进了衬底温度场的计算模型.数值模拟了衬底表面所受...
  • 6. 透明导电IMO薄膜的载流子迁移率研究
    作者： 华中一 孟扬 章壮健
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  265-269
    摘要： 采用van-der-Pauw法、等离子振荡波长法和光谱拟合法等三种方法对IMO(In2O3∶Mo)薄膜和ITO(In2O3∶Sn)薄膜的载流子迁移率进行了测量和比较.结果表明,IMO薄膜的载...
  • 7. Ge(111)表面氯自组装系统的近边X射线吸收精细结构理论研究
    作者： 唐景昌 曹松 李攀峰 汪雷
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  270-273
    摘要： 利用多重散射团簇方法(MSC)首次对Cl/Ge(111)自组装系统的Cl原子K边X射线吸收精细结构(NEXFAS)进行了详细的计算和分析.研究揭示了实验NEXFAS谱峰的物理起源.其中最显著...
  • 8. 应用于超大规模集成电路工艺的高密度等离子体源研究进展
    作者： 徐新艳 杨桂杰 杨银堂 王平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  274-281
    摘要： 本文简要地介绍了等离子体的产生方式以及传统的射频电容耦合等离子体源.对电子回旋共振等离子体(ECR),感应耦合等离子体(ICP),螺旋波等离子体(HWP)等几种新型的高密度等离子体源[1]的...
  • 9. 氧化锌薄膜制备技术的评价
    作者： 刘坤 季振国
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  282-286,309
    摘要： 详细介绍了各种制备氧化锌薄膜的方法,包括磁控溅射法、化学气相沉积法、喷雾热解法、溶胶凝胶法、激光脉冲沉积法、分子束外延法、原子层外延生长法.阐述了这些方法的机理、沉积条件、所需的反应物以及制...
  • 10. 真空蒸发沉积18烷基取代螺吡喃薄膜的光致变色及光电子谱研究
    作者： 上田裕清 季振国 朱玲
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  287-289
    摘要： 利用真空蒸发的方法在玻璃载片上沉积了18烷基取代螺吡喃薄膜,并利用光吸收谱和光电子谱研究了薄膜的光致变色特性及变色前后分子结构的变化情况.实验结果发现,真空蒸发沉积的18烷基取代螺吡喃薄膜具...
  • 11. 新型紫光放电管的研制
    作者： 周清 梁翠果 谢宝森 赵守珍
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  290-292
    摘要： 新型紫光放电管是由N2气和Cs组成的一个放电器件.本文叙述了这种紫光放电管的制备、放电特性和辐射光谱特性并对N2在低于市电幅度条件下能够保持连续放电给出了较为明确的解释.
  • 12. AlN陶瓷的Ti-Ag-Cu活性封接工艺
    作者： 鲁燕萍
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  293-295
    摘要： 在AlN陶瓷的Ti-Ag-Cu活性封接工艺中,研究Ti的引入方式对其与金属封接抗拉强度的影响.其中Ti以四种不同方式引入:涂Ti粉、夹Ti箔、直接使用Ti-Ag-Cu合金焊料以及溅射Ti膜.
  • 13. 真空混合漏孔示漏气体的延迟和保持特性研究
    作者： 史小军 堵国梁 朱为 毛福明 王辉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  296-298,302
    摘要： 真空混合漏孔,如漏孔通道内含有空腔、毛细管道等,示漏气体除存在超长反应时间外,还存在超长的延迟时间和保持时间.只有经该延迟时间后,检漏仪才能探得信号.为满足真空元件在生产中的快速检漏的要求,...
  • 14. 电弧离子镀制备(TiCr)N薄膜的微观结构及性能
    作者： 刘燕燕 张庆瑜 林国强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  299-302
    摘要： 利用电弧离子镀(Arc Ion Plating)方法,通过对独立的Ti靶和Cr靶的弧电流进行控制,成功地在高速钢(HSS)基体上制备了不同成分配比的(TiCr)N薄膜.采用X射线衍射(XRD...
  • 15. 高频氧等离子体制备氧化铝膜的微结构与光学常数
    作者： 史守华 孙兆奇 孙大明 李爱侠
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  303-306
    摘要： 将真空蒸发沉积的Al膜,在一台高频等离子体辉光放电的装置中进行阳极氧化,得到了光学和电学性能稳定的Al2O3膜.Al膜表面氧化层结构是γ-Al2O3,在波长300～700 nm范围内折射率为...
  • 16. 新型高亮度、高分辨率双束电子光学系统
    作者： 吴华夏 沈旭东 洪光烈
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  307-309
    摘要： 由三基色显示管投影来实现大屏幕显示仍是首选方案,为了提高投影质量,缓解亮度与分辨率间的矛盾,采取了三项主要措施:1、采用双束扫描荧光屏;2、在发射系统采用层流枪的优点;3、采用电阻螺旋线形成...
  • 17. 射频ICP离子源设计研究
    作者： 任兆杏 沈克明 翁坚 许沭华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  310-312
    摘要： 本文介绍了射频(RF)感应耦合等离子体(ICP)离子源的设计研究.对RF ICP的结构、离子流的引出以及离子流的均匀性、中性化和射频匹配网络进行了研究.
  • 18. TiN/NbN纳米多层薄膜的交变应力场和超硬效应
    作者： 宁兆元 戴嘉维 李戈扬 虞晓江 赖倩茜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  313-316
    摘要： 为了研究纳米多层薄膜的超硬效应,采用反应溅射法制备从1.4 nm至27 nm不同调制周期的一系列TiN/NbN纳米多层膜.高分辨电子显微镜对薄膜的调制结构和界面生长方式的观察发现,TiN/N...
  • 19. 干式罗茨真空泵磁流体密封的研究
    作者： 李德才 杨庆新 洪建平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  317-320，312
    摘要： 本文设计了干式罗茨真空泵的磁流体密封,对磁流体密封磁场进行了有限元分析,针对不同文献中磁流体密封耐压公式的不严密甚至错误,作者对磁流体密封耐压公式进行了严密推导,在实验台上验证了磁流体真空密...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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