真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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19905
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  • 作者: 孙岩 孙彦铮 张岩松 李亚娜 杜丽平 贺庆辉
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  129-133
    摘要: 本文通过真空蒸镀法制备得到含银型高密度聚乙烯(HDPE)基抗菌复合膜(Ag2O/HDPE),利用原子力显微镜、扫描电子显微镜及原子吸收光谱法测试手段对膜进行了表征,并考察了复合膜的抗菌动力学...
  • 作者: 严谨 刘柯钊 姚文清 张川 张立武 朱永法 杨江荣 牟豪杰 鲜晓斌
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  134-137
    摘要: 通过直流磁控溅射法在单晶Si(100)基底上制备了Zr/Nb/Si薄膜材料.X射线衍射(XRD)研究表明Zr薄膜以多晶形式存在,而Nb薄膜则形成了(110)晶面择优生长.薄膜中Zr和Nb晶粒...
  • 作者: A.Bogaerts 吕晓丹 宁建平 秦尤敏 苟富均 贺平逆 赵成利
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  138-143
    摘要: 本文使用分子动力学方法模拟低能CH与碳氢薄膜的相互作用,以探讨在核聚变过程中CH的再沉积行为及对面向等离子体材料性质变化的影响.选择的入射能量分别为0.3,1,5,10 eV.模拟结果表明随...
  • 作者: 姚宁 崔娜娜 张兵临 王英俭 穆慧慧 葛亚爽 邢宏伟
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  144-148
    摘要: 采用直流磁控溅射法制备ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜,薄膜电阻率为5.3×10-4Ω·cm,可见光区平均透过率大于85%.采用施加缓冲层的方法,在AZO和NPB之间加入一层Al2O3绝缘...
  • 作者: 徐文慧 杨旭 王光伟 郑宏兴
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  149-153
    摘要: 在分析理想金属/半导体肖特基接触的基础上,概述了一般情形下肖特基接触的形成机理和影响因素.金属/半导体间的界面层使得肖特基势垒高度(SBH)对功函数的依赖减弱,也导致SBH与外加偏压有关.研...
  • 作者: 徐滨士 王海斗 马国政
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  154-158
    摘要: 为了探索软金属铟在真空环境中的润滑性能,用电刷镀技术在45#钢表面制备了In/Ni复合固体润滑涂层,并对比研究了该复合镀层在大气环境、低真空环境和高真空环境下的摩擦学性能和磨损机制.结果表明...
  • 作者: 张瑞 王勇 阮望 韩慧鹏
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  159-162
    摘要: 提出了一种采用散射参数S21曲线来计算速调管双耦合孔输出腔外观品质因数的方法.首先借助仿真软件CSTMWS模拟计算了 Toshiba 研制的速调管(E3736)的具有双耦合孔输出腔的外观品质...
  • 作者: 徐宝强 戴永年 朱富龙 杨斌 袁海滨 郁青春
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  163-168
    摘要: 在中真空条件(18~50Pa)下,从原子碰撞与碰撞凝聚的角度分析系统温度、铝分压及冷凝区温度梯度对铝蒸气相变形核及冷凝的影响.采用真空蒸发冷凝法(不充入惰性气体)制备出铝珠及铝粉,并利用扫描...
  • 作者: 张建超 汪曣 赵学玒 黄超
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  169-173
    摘要: 本文首先利用离子光学模拟软件SIMION7.0,对自制的电子轰击离子源(EI)进行模拟试验,获得离子在EI内的运动参数,包括位置、速度.随后,利用相空间方法,分析EI各参数对其性能的影响,包...
  • 作者: 孙海林 徐雪波 熊学慧 鲍明东
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  174-177
    摘要: 应用闭合磁场非平衡磁控溅射离子镀技术,制备了不同Ti含量的MoS2合金减摩镀层,研究了添加元素Ti含量对镀层厚度、硬度、摩擦系数等的影响规律.结果表明MoS2合金减摩镀层的厚度与添加元素Ti...
  • 作者: 杜昊 肖金泉 邓宏贵 闻火 闻立时 黄荣芳 黄香平
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  178-182
    摘要: 在单晶si(100)基体上利用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备硅薄膜,并采用X射线衍射谱(XRD)、透射电镜(TEM)、Raman光谱、电子自旋共振(ESR)波谱等实验方法研究了不...
  • 作者: 刘汉法 张化福 王振环
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  183-186
    摘要: 利用直流磁控溅射法,在室温水冷玻璃衬底上成功制备出了可见光透过率高、电阻率低的钛镓共掺杂氧化锌(TGZO)透明导电薄膜.X射线衍射和扫描电子显微镜研究结果表明,TGZO薄膜为六角纤锌矿结构的...
  • 作者: 姜辉 娄晓钟 张红霞 李西兵 王世刚 石志民 郭建华
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  187-193
    摘要: 目前微电子与光电子芯片对散热要求日益增高,烧结式微热管已经成为其理想的散热元件,对微热管进行快速抽真空,使微热管中的工质量与真空度符合要求,是决定其制造质量与成本的重要因素.通过对微热管的工...
  • 作者: 李家胤 武新慧 赵晓云
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  194-200
    摘要: 潘尼管是利用电子在高频结构中的位置选择机制实现注波净能量交换的回旋器件,具有高效率与低磁场的显著特点.本文在简述其基本原理的基础上,研究了其设计理论与方法,进行了相应的数值计算,设计了一只8...
  • 作者: 张伟 李廷举 殷国茂 金文中
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  201-207
    摘要: 使用X射线衍射分析仪、扫描电镜、电子拉伸试验机、高温金相显微镜研究了在模壳内壁表面的涂层中添加孕育剂铝酸钴和在真空熔铸过程中施加工频旋转电磁搅拌对K417高温合金真空精密铸件凝固组织和性能的...
  • 作者: 白国云 胡茂中
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  208-211
    摘要: 为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题,开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验.实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器,在容器内的氦气浓度为0.5‰,1‰,3‰,5‰时分别实测了...
  • 作者: 王娜 王建力 王梨兵 肖琼
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  212-215
    摘要: BEPCⅡ真空内扭摆磁铁的波纹管在电子束流的高流强运行中发生了损伤和真空泄漏.对损伤原因进行了分析,怀疑是波纹管RF屏蔽结构的弹簧片与接触套之间存在间隙,导致了高次模泄漏.如果波纹管没有压缩...
  • 作者: 李冠群 李戈扬 李玉阁 沈洁
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  216-220
    摘要: 采用碳化钒靶的磁控溅射方法在不同的Ar气压下制备了一系列碳化钒薄膜,利用能量分析光谱仪,X射线衍射,扫描电子显微镜,原子力显微镜和微力学探针研究了气压对薄膜成分、相组成、微结构以及力学性能的...
  • 作者: 孙宝玉 岳向吉 巴德纯 房也 杨彬 段永利
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  221-224
    摘要: 用直流磁控溅射工艺,在NdFeB磁体表面镀Al薄膜,并对镀Al薄膜的磁体进行真空热处理,研究工艺、温度和时间对镀层成分、组织和性能的影响.结果表明:NdFeB镀Al薄膜磁体经650℃,10m...
  • 作者: 卢盛辉 周伟 夏建新 杜江锋
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  225-228
    摘要: 通过化简复杂非线性的费米能级EF与二维电子气密度ns关系,并利用化简后函数的一阶泰勒多项式建立了线性化AlGaN/GaN HEMT中EF与ns关系的解析模型.该模型可以根据二维电子气密度ns...
  • 作者: 刘军 张世伟
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  229-233
    摘要: 传统的鹿茸干燥工艺中包含煮炸、烘烤、日晒等加热处理步骤,会造成鹿茸中营养物质的流失及其生物活性的破坏.冷冻真空干燥是能够保持鹿茸中营养成分活性的先进干燥工艺.本文详细介绍了鹿茸片和整枝鹿茸的...
  • 作者: 成永军 李得天
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  234-236
    摘要: 本文简要阐述了非蒸散型吸气剂(NEG)泵的吸气机理,着重介绍了NEG泵在超高/极高真空标准、静态膨胀法真空标准等真空计量标准中的最新应用结果.结果表明:利用NEG泵在室温下获得了10-10m...
  • 作者: 孙奉娄 钟志有 顾锦华
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  237-241
    摘要: 采用射频氧等离子体(RFOP)处理对氧化铟锡(ITO)薄膜表面进行改性,通过原子力显微镜、X射线光电子能谱、X射线衍射仪和接触角仪等测试表征,研究了改性对ITO表面性质的影响.实验结果表明,...
  • 作者: 刘天伟 吴艳萍 唐凯 朱生发 江帆 魏强 黄河
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  242-246
    摘要: 利用Gibbs自由能判据计算了室温和1000 K温度下Ti-Al体系非晶形成成分区间.计算结果表明,Ti-Al非晶形成区间为10%~80%(原子比)Ti.在计算结果的指导下,设计薄膜的成分区...
  • 作者: 朱晓文 胡庆生 许铁军 谢韩 赵君煜 陈长琦
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  247-251
    摘要: 水平诊断窗口位于ITER装置主机水平窗口,用于容纳各项等离子体诊断设备,需要满足水冷、电磁和射线屏蔽等功能的技术要求.基于结构可靠性与加工可行性设计了水平诊断窗口冷却回路,并采用FLUENT...
  • 作者:
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  252
    摘要:

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
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真空科学与技术学报统计分析

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