真空科学与技术学报期刊
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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目录
  • 作者: 吴明健 夏菲 杨瑞琴
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  933-936
    摘要: 介绍了一种利用磁控溅射镀锌技术显现潜手印的新方法.考察了磁控溅射镀锌法适合显现的手印遗留客体的种类、颜色,不同遗留时间对显现效果的影响,以及手印显现率.结果显示,磁控溅射镀锌法较适于显现深色...
  • 作者: 张志坚 张永爱 郑灼勇 郑隆武 郭太良 陈景水
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  937-942
    摘要: 以联苯四酸二酐和4,4’-二氨基二苯醚为单体原料使用气相沉积聚合(VDP)法制备了聚酰亚胺(PI)绝缘膜,分析不同热亚胺化处理温度对PI薄膜绝缘性能的影响.分别使用红外光谱、俄歇能谱、扫描电...
  • 作者: 侯雪艳 吴隽稚 巴德纯 李建昌 王紫瑄
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  943-950
    摘要: 从选择性吸收涂层的材料、结构、热稳定性及真空环境等方面综述了真空管式太阳能集热器的研究进展.不锈钢、Ti、Al、Ni类材料适于制备中低温选择性吸收涂层;而Mo和W类等高熔点材料,适于高温涂层...
  • 作者: 王云川 赵智忠
    发表期刊: 2012年10期
    页码:  951-954
    摘要: 传统的真空灭弧室真空度测量方法只在一定的真空度范围内测量精度较高,且易受外界干扰,为了获得准确的真空度数据,使用横磁场脉冲磁控法和改进的屏蔽罩电位法测量真空度,利用联合卡尔曼滤波器对测量数据...
  • 作者: 李园园 王宇辉 胡作启 谢子健 赵旭
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  955-960
    摘要: 采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了上组分梯度、下组分梯度及单层BST薄膜,对比研究了三种结构BST薄膜的电、热性能.实验表明:下组分梯度BST薄膜的介电性能最优(优值因子为66.2),温...
  • 作者: 刘汉法 周爱萍 孙艳 张化福 王晓晨
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  961-963
    摘要: 采用磁控溅射法在不同的溅射压强下制备了ZnMgO∶Ti透明导电薄膜.着重研究了溅射压强对ZnMgO∶ Ti薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响.结果表明:当溅射功率为80W时,电阻率随着溅射...
  • 作者: 任凡 张辰 罗毅 胡健楠 郝智彪
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  964-968
    摘要: 采用射频分子束外延方法生长了氮化铝薄膜材料,研究了生长条件对外延层中位错和点缺陷等晶体缺陷的影响.结果表明,在富Al条件下,适当提高生长温度有利于抑制位错的产生,但同时会引入更多的氧杂质点缺...
  • 作者: 巴德纯 李建昌 王凤 王永 蔺增 高丁
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  969-973
    摘要: 首先用喷砂酸蚀法对钛种植体表面进行粗化处理,制备出具有微米-纳米双微观孔洞结构的超亲水表面.然后用等离子体氧化的工艺,制备具有超亲水性能的氧化钛表面,发现表面亲水性能随自偏压的增加先减小后增...
  • 作者: 刘汉法 周爱萍 袁玉珍
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  974-977
    摘要: 室温下,利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了铌掺杂氧化锌(NZO)薄膜,研究了溅射压强(2~12 Pa)对薄膜结构、残余应力、表面形貌及其光电性能的影响.X射线衍射测量结果表明,所有样品都具...
  • 作者: 张瑞 王勇
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  978-984
    摘要: 以周期边界法、谐振法以及微扰法分别对盘荷波导结构色散特性、耦合阻抗进行分析,研究了不同结构参数下盘荷波导结构高频特性的变化规律.设计了C波段π/2模速调管盘荷波导输出结构,对其注-波互作用开...
  • 作者: 吕国强 吴华夏 杨军 沈旭东 邓光晟 阮久福
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  985-990
    摘要: 对多注周期永磁(PPM)结构中横向磁场的分布规律进行了研究,模拟分析了耦合槽的存在对不同电子注通道内横向磁场的影响,讨论了多注PPM结构中横向磁场的抑制方法,并对极靴饱和对各电子注通道的影响...
  • 作者: 张文余 张金中 谢振宇 闵泰烨 陈旭
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  991-995
    摘要: 在TFT小型化趋势下,需要进一步提高氢化非晶硅薄膜晶体管的TFT特性,尤其是开态电流特性.本文结合生产实际,阐述了工艺上改善氢化非晶硅开态电流特性的方法,包括提高单位面积栅绝缘层电容和改善载...
  • 作者: 梁源 王勇 赵鼎 阮存军 阮望
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  996-1002
    摘要: 对X波段带状注速调管单端口输入腔中间隙纵向电场(电子注方向)的场形平衡问题进行了研究.通过在另一侧腔体外加载封闭波导,使其内部的电场场形可以在一定范围内进行调整.这种方法简化了驱动装置,并能...
  • 作者: 吴小坡 时家明 袁忠才 许波 陈宗胜
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  1003-1008
    摘要: 基于微分形式的麦克斯韦方程组,采用严格两点边值方法求解等离子体柱对入射平面波的散射问题.结合柱约束空间径向非均匀等离子体分布特征推导电磁波散射系数的数学模型,计算了不同入射波频率、等离子体频...
  • 作者: 孙伟中 张晋敏 张浚源 田树平 苟富均 赵成利 陈峰
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  1009-1015
    摘要: 采用二维流体力学模型研究了多级直流弧放电装置中流速对处于局部热平衡状态下氢等离子体特性的影响.分析了氢等离子体中心轴线处电场和压强的分布情况;各粒子密度在通道中的分布状态;通道出口处等离子体...
  • 作者: 刘纯亮 刘震 王兴常 王文江 韦海成
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  1016-1020
    摘要: 为了研究介质阻挡放电平面光源(DBDL)中气体放电产生的电子对DBDL光电特性的影响,本文设计并制作了一种内部涂覆有阴极射线荧光粉的平面光源,该光源内部充入了20kPa的纯氖气,在此条件下对...
  • 作者: 彭晓东 苏中华 郑笑芳 魏群义
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  1021-1025
    摘要: 提出真空硅热还原制备Mg-Li合金的新方法.热力学分析结果表明,硅热法还原制备Mg-Li合金的适宜条件为:真空度≤102 Pa,还原温度≥1400 K;还原温度为1473 K时,同步液化冷凝...
  • 作者: 刘大春 徐宝强 曲涛 杨斌 田阳 罗启
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  1026-1032
    摘要: 通过红土镍矿含碳球团的还原实验,采用X射线衍射、扫描电镜、能量散射谱和化学成分分析等手段,研究红土镍矿原料性质、还原产物的物相转变和显微结构的变化规律,探讨红土镍矿的真空碳热还原特性.红土镍...
  • 作者: 史爱波 张荣良 金云学
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  1033-1037
    摘要: 以热镀锌渣为原料、以空气为氧源,采用真空限氧法制备了纳米氧化锌.用热重法测定了不同系统压力条件下锌蒸气的氧化动力学曲线,用扫描电镜研究了氧化产物ZnO的形貌.结果表明:采用真空限氧法制备的纳...
  • 作者: 叶自煜 李丹明 王春勇 贾连军
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  1038-1041
    摘要: 针对高功率激光系统中光滑金属表面颗粒污染物采样与分析的要求,提出了一种用负压吸取的方式采集金属表面颗粒污染物的方法.通过理论计算分析了负压吸取法的可行性,设计了采样效率评估试验,试验结果表明...
  • 作者: 刘腾飞 吴振伟 朱武 汪根生 郭后杨 陈长琦
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  1042-1047
    摘要: 基于强磁场环境中托卡马克装置偏滤器中性粒子压力快速测量,使用普通热阴极电离计,难以实现托卡马克偏滤器实验运行的原位精确测量.文章针对普通热阴极电离计的结构特点,首先探究了强磁场下,阴极发射电...
  • 作者: 叶亮 孙鸿 黄楠
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  1048-1054
    摘要: 采用磁过滤阴极真空弧源法对低温热解碳瓣叶和瓣环内Ti6Al4V贴片进行了类金刚石膜沉积,并利用模拟摩擦磨损试验检验了薄膜耐磨性,采用X射线光电子能谱检测了薄膜化学键结构.结果表明:利用A3工...
  • 作者: 刘宏燕 唐光盛 曾飞 潘峰
    发表期刊: 2012年11期
    页码:  1055-1059
    摘要: 研究了氩离子束轰击诱导硅表面自组装纳米结构和铁纳米条纹的形成规律.在单晶Si(100)表面水平放置直径为2mm的铁棒,采用3 keV氩离子束垂直轰击硅样品表面.扫描电镜观察表明:在金属铁棒周...
  • 作者: 唐华 孙建荣 李洪苹 李长生 杨峰 胡志立 莫超超 郭志成
    发表期刊: 2012年12期
    页码:  1061-1066
    摘要: 采用W靶、Ti靶及MoS2靶,先制备W-Ti-N薄膜,然后再在其上面沉积MoS2纳米薄膜得到w-Ti-N/MS2纳米双层薄膜,通过多次实验得到溅射W-Ti-N/MoS2薄膜的最佳工艺如下:溅...
  • 作者: 张钧 贾恒
    发表期刊: 2012年12期
    页码:  1067-1073
    摘要: 利用多弧离子镀技术并使用Ti-Al(原子百分比50∶50)合金靶与Zr单质靶组合在高速钢基体上镀覆(Ti,Al,Zx)N硬质反应膜.使用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂及氢氧化钠配制膜层退除液,通过改...
  • 作者: 常家东 李言 谢银涛 贾贵西
    发表期刊: 2012年12期
    页码:  1074-1077
    摘要: 应用非平衡磁控溅射离子镀技术在6204轴承钢球、45JHJ钢片及单晶硅片的表面制备出CrcN复合镀层,对CrCN复合镀层的表面粗糙度和摩擦学性能进行了测试,并对CrCN复合镀层钢球轴承和无镀...
  • 作者: 付永忠 吴永忠 孔德军 王文昌
    发表期刊: 2012年12期
    页码:  1078-1083
    摘要: 采用物理气相沉积法在Cr12MoV钢基体上制备了TiN涂层,利用扫描电镜、能量色散谱、X射线衍射和轮廓仪对涂层形貌特征、化学元素、物相组成和表面粗糙度进行了表征,用划痕法测试其结合强度,并分...
  • 作者: 孙伟 巴德纯 杜广煜 柴昊 谭祯 韩清凯
    发表期刊: 2012年12期
    页码:  1084-1088
    摘要: 采用电弧离子镀方法在不锈钢基片上制备了NiCrAlY涂层,在制备过程中改变基底偏压分别取50,100,200,300V.对涂层样品分别进行物相分析,表面形貌观察,测定微区化学成分,并利用动态...
  • 作者: 汪莱 罗毅 郝智彪 郭智博
    发表期刊: 2012年12期
    页码:  1089-1092
    摘要: 制作了栅极修饰金属Pt的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管结构的氢气传感器.栅极Pt采用溅射的方法制作,主要起到形成肖特基接触并催化氢气裂解的作用.器件的栅极敏感区域尺寸为5 μm×400...
  • 作者: 刘永霞 董玉和
    发表期刊: 2012年12期
    页码:  1093-1097
    摘要: 设计了工作于高阶横磁TM310模式圆柱同轴谐振腔.模拟计算了六个漂移管间隙中心轴向谐振电场极大值位置处的特性阻抗.对于谐振腔加载空矩形波导和加载电感膜片滤波器矩形波导两种速调管输出回路,由微...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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