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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 1. 纳米结构316L不锈钢基掺钽TiO2薄膜生物活性研究
    作者： 丁红燕 于春杭 樊新民 翟瑞 邵红红
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  83-87
    摘要： 采用射频磁控溅射技术在表面微结构纳米化316L不锈钢和粗晶粒316L不锈钢基体上制备掺钽TiO2薄膜.采用扫描电镜和X射线衍射仪分析薄膜形貌和晶体结构,用体外模拟人体体液浸泡实验研究薄膜的生...
  • 2. Ar等离子体改性纳米钛基TiO2薄膜生物活性研究
    作者： 丁红燕 于春杭 刘媛英 翟瑞 许晓静 邵红红
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  88-94
    摘要： 采用室温直流磁控溅射技术在纳米晶体钛表面制备TiO2薄膜,并用Ar等离子体对TiO2薄膜进行表面改性,体外模拟体液浸泡实验考察薄膜的生物活性.系统研究了Ar等离子体处理对TiO2薄膜结构、形...
  • 3. 真空喷雾法制备高分子功能薄膜研究进展
    作者： 孙越 巴德纯 李建昌 简晓慧 韩宇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  95-103
    摘要： 高分子功能薄膜因质量轻、柔韧性好及易于加工等特点而在新型微纳光电器件上有很好的潜在应用前景.由于存在高温热致烧蚀或分解,常规的蒸发镀膜和溅射镀膜等方法无法用来制备高分子聚合物薄膜,而一般的溶...
  • 4. 基于印刷工艺的介质层绝缘特性研究
    作者： 叶芸 杨帆 林贺 肖晓晶 郭太良 陆培民
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  104-108
    摘要： 绝缘介质层是三极场致发射显示器的重要组成部分,本文通过丝网印刷技术与一次烧结和重复烧结两种烧结工艺制备不同膜厚的介质层,利用台阶仪和扫描电子显微镜分别对介质层膜厚和形貌进行表征,并对介质层的...
  • 5. 透明导电InSnGaMo氧化物薄膜光电性能研究
    作者： 何军辉 刘宝琴 刘拥军 刘振华 张春伟 王书昶
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  109-113
    摘要： 利用脉冲激光沉积法在石英衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率极低的Ga,Mo共掺杂TTO基InSnGaMo复合氧化物薄膜.研究了衬底温度对薄膜结构、表面形貌、光电性能的影响.实验结果表明:衬...
  • 6. TiZrV吸气剂薄膜吸气性能的研究
    作者： 尉伟 张波 张玉方 李为民 洪远志 王勇 王建平 范乐 裴香涛
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  114-117
    摘要： TiZrV合金在180℃下加热24h即可激活,是迄今发现的激活温度最低的非蒸散型吸气剂,已在粒子加速器领域得到应用.采用直流磁控溅射法在不锈钢管道内壁获得了TiZrV薄膜,并研究了薄膜对CO...
  • 7. 氦质谱非真空积累检漏法中几个问题的研究
    作者： 孙伟 孙立臣 李征 王勇 邵容华 闫荣鑫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  118-122
    摘要： 氦质谱非真空积累检漏法被广泛应用于航天器的总漏率测试中,因此研究氦质谱非真空检漏法具有重要的工程实际意义.本文首次详细给出了氦质谱非真空积累检漏法计算公式的详细推导过程,同时讨论了采用柔性收...
  • 8. 一种真空状态下的气体流量测量新方法
    作者： 孟晓风 李晋阳 董登峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  123-127
    摘要： 当空气绝对压力小于40kPa时,目前尚无简便有效的气流质量流量测量手段,为此本文设计了一套新颖的流量标定装置,并提出一种了流量测量方法.在流量调节过程中,调节阀必不可少.真空状态下,流经调节...
  • 9. 烘烤工况下的ITER中子屏蔽块整体结构分析
    作者： 冯昌乐 宋云涛 徐杨 王开松
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  128-131
    摘要： 中子屏蔽块分布于国际热核聚变实验堆(TTER)超导托卡马克真空室双层壳体内部,由多个组件装配而成,用于屏蔽核聚变产生的中子.在烘烤工况下,承受螺栓预紧力作用的中子屏蔽块受200℃烘烤温度的影...
  • 10. 芯片级原子钟的气密性能分析
    作者： 吴亚明 张志强 徐静 李绍良
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  132-139
    摘要： 基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅.玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素.本文提出了“多层缓冲原子腔”方案大幅度提高原...
  • 11. 硒化方式对CuInSe2薄膜结构、成分和形貌的影响
    作者： 刘俊 招瑜 赵湘辉 魏爱香
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  140-144
    摘要： 采用直流磁控溅射技术,首先在玻璃衬底上制备Mo薄膜,然后制备CuIn预制层.以固态硒粉为硒源,采用硒薄膜法和硒蒸气法两种硒化工艺,经过三步升温硒化方式对CuIn预制膜进行硒化制备CuInSe...
  • 12. Na2S2O3浓度对共电沉积制备Cu2ZnSnS4薄膜性能的影响
    作者： 卢景霄 王英君 陈永生
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  145-149
    摘要： 采用电化学沉积的方法在SnO2透明导电玻璃基底上沉积CuZnSnS4(CZTS)薄膜,在氮气保护下对其进行进一步硫化,研究了溶液中不同Na2S2O3浓度对沉积薄膜性质的影响.运用X射线衍射、...
  • 13. 电真空器件热阴极加热功率与温度分布关系的测试与模拟
    作者： 刘竞业 张明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  150-154
    摘要： 为确定电真空器件内热阴极区域的温度分布,以热阴极的热电子发射机理为基础,针对传统闸流管的经典热阴极构型,利用Comsol软件对一定几何结构的热阴极进行了物理建模,依据热传导的相关理论,合理地...
  • 14. 短间隙真空开关电弧图像边缘提取研究
    作者： 董华军 袁端磊 赵鸿飞 邹积岩
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  155-157
    摘要： 为了研究短间隙真空开关电弧燃烧及其热形态变化过程,通过图像视觉系统对电弧起弧、燃烧及熄灭过程中的电弧图像进行采集,阐述了该实验系统的组成,利用图像处理技术对电弧图像进行了预处理,并通过Pre...
  • 15. 碳掺杂对CrN镀层显微硬度与组织结构的影响
    作者： 李洪涛 胡鹏飞 蒋百灵
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  158-162
    摘要： 采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在单晶硅(111)衬底上沉积了CrCN镀层以研究C靶电流对镀层显微硬度的影响,并通过X射线衍射、原子力显微镜、X射线光电子能谱和透射电镜对镀层进行了分析.结...
  • 16. 微波等离子体化学气相沉积法生长非晶碳化硅薄膜
    作者： 辛煜 陈修勇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  163-168
    摘要： 利用SH4(80％Ar稀释)和CH4作为源气体,通过改变源气体流量比、基片温度、沉积气压等参量,使用微波电子回旋共振化学气相沉积法生长非晶碳化硅薄膜.实验结果表明碳化硅薄膜沉积速率随气体流量...
  • 17. Ti/n型6H-SiC(0001)接触界面的研究
    作者： 刘衍芳 潘海斌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  169-171
    摘要： 用同步辐射光电子能谱(SRPES)和X射线光电子能谱(XPS)的方法研究了Ti/n型6H-SC(0001)的接触界面.Ti/n型6H-SiC(0001)样品采用磁控溅射的方法获得,然后将表面...
  • 18. 高频离子源的光学设计
    作者： 刘湾 周长庚 娄本超 张钦龙 李艳 祖秀兰 胡永宏
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  172-175
    摘要： ns-200中子发生器采用的是高频离子源,面临着提高离子源的性能,增大引出束流的技术改造问题.为此开展了高频离子源的设计研制工作.高频离子源采用管道式引出结构和三圆筒单透镜聚焦系统.根据设计...
  • 19. 铟锡合金真空蒸馏分离的研究
    作者： 刘大春 李冬生 杨斌 蒋文龙 邓勇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  176-179
    摘要： 研究了真空蒸馏法分离铟锡合金,回收金属铟与锡的新工艺.从理论上分析了铟与锡分离的可能性和规律性,并进行工业化试验.工业化试验的结果表明,控制蒸馏温度1050℃,真空度3Pa时,铟锡合金中的铟...
  • 20. 《真空科学与技术学报》变更为月刊的通知
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年2期
    页码:  后插1
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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