硒化方式对CuInSe2薄膜结构、成分和形貌的影响

• 作者: 刘俊 招瑜 赵湘辉 魏爱香
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳能电池 CuInSe2薄膜 磁控溅射 硒化工艺
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 太阳能利用
• 页码范围: 140-144
• 分类号: TM615
• 字数: 3226字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.02.11

摘要

采用直流磁控溅射技术,首先在玻璃衬底上制备Mo薄膜,然后制备CuIn预制层.以固态硒粉为硒源,采用硒薄膜法和硒蒸气法两种硒化工艺,经过三步升温硒化方式对CuIn预制膜进行硒化制备CuInSe2薄膜.通过X射线衍射、能量散射谱和扫描电镜测试分析手段,分析CuIn预制膜和每一步硒化热处理后薄膜结构和形貌的变化.结果表明:两种方法硒化后均形成具有单一黄铜矿相结构的CuInSe2薄膜,薄膜具有(112)面择优取向,硒蒸气法形成的晶粒较大,但均匀性差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	广东工业大学材料与能源学院	33	141	6.0	10.0
2	魏爱香	广东工业大学材料与能源学院	42	197	7.0	11.0
3	招瑜	广东工业大学材料与能源学院	17	86	4.0	8.0
4	赵湘辉	广东工业大学材料与能源学院	4	28	3.0	4.0