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真空科学与技术学报2021年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
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19905
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 二维过渡金属二硫化物(TMD)晶体由于其结构的多样性和独特的性质备受关注.真空固态反应法是生长高质量二维TMD晶体的一种强有力工具,此方法大大推动了基于二维TMD晶体的基础研究和应用探索.在...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： SMILE卫星在轨科学探测为大倾角椭圆轨道,在轨将遭遇多种等离子体环境,卫星表面带电状态将影响卫星在轨安全性和科学探测任务.在有限元建模的基础上,利用SPIS(Spacecraft Plas...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 针对(105～10-8)Pa复合型真空计的一次性校准需求,设计出相应的校准装置.装置主要由校准室、真空测量模块、抽气与供气模块、标准气体流量计、烘烤模块等部分组成.设计的校准室为球形容器,通...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 离子源是各种类型质谱仪、离子加速器、离子注入机、离子束刻蚀机等电真空设备不可缺少的部件,静电透镜系统是离子源的重要组成部分.本文基于圆孔膜片透镜理论及带电粒子在静电场中的运动理论,利用多重物...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 采用丝网印刷法在95％(质量比)Al2O3基板上制备MgO薄膜,在大气环境1650℃下烧结使MgO与Al203基板反应形成(Mg0.527Al0473)(Al1758Mg0.12)O4薄膜(...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 为了优化单晶铌酸锂薄膜光波导的性能,研究了基于单晶铌酸锂薄膜材料的光波导刻蚀工艺.虽然Ar+物理刻蚀能够达到最高95 nm/min的刻蚀速率,但难以获得光滑的波导侧壁,且以Cr作为掩膜的刻蚀...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 真空金属镀膜(VMD)对于显现非渗透性及半渗透性客体表面的潜在指纹具有极高的灵敏度,但由于其通常采用金、锌两种金属的联用对潜在指纹进行显现,成本过高且操作繁琐,因此未能在实践中得到广泛运用....
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 研究了金属涂层阻尼性能的微观机理.采用磁控溅射技术在不锈钢表面制备了Al、Ti、TiAl合金涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和能谱分析仪研究了金属涂层的物相、微观结构和元素组成;利用动...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 针对现有螺杆转子存在尖点的问题,提出了一种新型椭圆弧型转子.建立了椭圆的啮合模型,基于该模型采用椭圆弧及其包络线构建了转子截面型线,并验证其啮合性能.讨论了圆心角参数大小对椭圆弧型线构成方式...
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10. 真空冷冻干燥猕猴桃果粉的工艺优化刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 为获得猕猴桃果粉真空冷冻干燥的最佳工艺,以猕猴桃果浆为原料,以Vc含量、色差△E以及干燥速率为评价指标,以物料厚度、绝对压强、隔板温度为因素进行三因素Box-Behnken响应面试验,建立二...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 热力蒸汽压缩机(TVC)具有结构简单、投资少、易于维护等优点,在水处理领域有着广泛应用.使用流体模拟软件FLUENT对TVC进行了数值模拟,验证了其内部流场与激波特性,分析了运行参数对热力蒸...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 随着配网中大力开展10 kV线路带电作业,J型线夹被广泛用于断接火项目,然而导线-线夹间易形成短间隙气体放电.本文以J型线夹断接火作业为背景,建立二维动-静极板简化模型,采用有限元算法,利用...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 共面介质阻挡放电是工业上非常有发展前景的材料表面处理技术,采用常压CDBD在六甲基二硅氧烷(HMD-SO)/O2/Ar混合气氛中产生低温等离子体,动态连续对聚乙烯(PE)隔膜进行表面改性,通...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 采用离子镀方法在发动机用GH4169合金表面制备NiAl涂层,并通过实验测试的方式对其组织结构以及抗1100℃高温氧化能力进行分析.研究结果表明:热处理后基体表面形成了约15 μm的NiAl...
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15. 建筑铝型材的表面电镀与性能研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 采用电镀技术在建筑用Al-Cu-Mg硬铝合金型材上制备了Ni涂层和Ni/GO涂层,对比分析了基材和涂层的显微形貌、硬度、耐蚀性能和耐磨性能.结果表明,铝合金表面涂层中未见气孔或者裂纹等缺陷,...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 在类石墨烯时代,蜂窝状晶格排列的第四主族单层原子晶体(包括硅烯,锗烯,锡烯和铅烯)引起了广泛的关注.它们具有各种优异的特性,包括高载流子迁移率,线性色散能带和量子自旋霍尔效应,从而使其易于实...
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17. 能量分析器型真空电离规性能研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 电子激励脱附(ESD)效应和软X射线效应是影响电离真空计测量下限的两大重要因素.基于能量分析器研制了电离真空规,在极高真空校准装置上对其开展性能研究,包括不同压力或不同阴极发射电流下的离子流...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 为提高TC4钛合金表面摩擦学性能,探究酸洗及等离子体预处理对TC4钛合金表面低温等离子体氮化进程的影响.首先采用热丝增强等离子体氮化系统分别对表面酸洗及未酸洗TC4钛合金在氩气气氛下进行等离...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 本文介绍了一种基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法,该方法通过分子流传感元件测量真空腔体整体漏率,采用的测量装置由气体流量测量系统、真空抽气系统、恒温系统等部分组成.在测量系统中,流经传...
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20. 真空磁浮组合材料管道梁结构设计刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 针对现有钢结构真空管道梁造价高、运输条件受限且安装不便等问题,本文探讨了一种适用于未来长距离运输和车辆条件的组合材料管道梁结构,开展了三种常用跨度管道梁结构的试设计,分析了一联多跨方案对结构...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 北京正负电子对撞机二期(BEPCⅡ)束流横向反馈激励器的馈通,采用了带水冷设计的自研非标陶瓷真空馈通.该馈通采用陶瓷-可代焊接在研制过程中,出现了陶瓷真空漏和弹性渗漏等问题,本文介绍了这些真...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 研究了以高浓度Na5P3O10作为电解液对钛合金实施微弧氧化,并对其表面结构和各成分组成情况进行了分析,之后测试了氧化层的表面硬度及其耐磨特性.研究结果表明:提高Na5P3O10浓度后,发生...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 在Ni60A粉末内加入10％、20％与30％不同质量分数WC颗粒,利用激光熔覆方法在发动机用Ti600基底表面形成Ni60A/WC涂层,通过实验测试手段分析WC量对涂层组织及性能的影响.研究...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 通过超声方法处理聚氨基甲酸酯表面,选择脉冲碳离子源,结合阴极放电等离子方法在EVM表面完成DLC涂层的沉积过程,对超声处理过程中温度与时间参数引起的DLC涂层摩擦特性改变进行分析.实验测试研...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 对激光熔覆Inconel718合金进行粉末进行回收利用,并以该粉末作为熔融修复原料制备激光熔覆涂层,测试试样组织各项力学特性参数.研究结果表明:经过回收利用处理后,各粉末颗粒尺寸差异较大,形...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 将Ni与Al2O3微米颗粒实施混合,再将其通过等离子喷涂方法沉积到2219铝合金表面,控制合适的喷涂工艺参数得到Al2O3/Ni复合涂层,实验测试研究Al2O3量对涂层组织和摩擦性能的影响....
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 采用双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积方法在传感器用P型单晶硅上制备ta-C膜,并通过实验测试的手段研究厚度对其组织及性能的影响.研究结果表明:逐渐延长沉积时间后,沉积速率始终保持1.6 nm/m...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)法在大尺寸玻璃基板上沉积氮化硅薄膜,对薄膜性能进行了研究,并从微观角度对所得结论进行了进一步分析与讨论.PECVD法在连续沉积氮化硅薄膜时,薄膜的...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 为了改善非晶硅/微晶硅叠层电池的载流子输运效果,将隧穿结引入到具有中间层结构的叠层电池中,研究了隧穿结的结构、掺杂浓度、厚度等条件对叠层电池性能的影响.实验结果表明,叠层电池中引入隧穿结构成...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 为解决G8.5世代线PECVD制程中磷烷轻掺杂N+A-SI成膜中频繁出现反射功率超过3000 W导致的沉积中断,研究了磷烷流量、RF Generator的匹配特性及RFoffset的电极间距...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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