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软X—射线投影光刻术：实验和实用的光刻机

软X—射线投影光刻术：实验和实用的光刻机

作者：

吴桂英

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软X射线

投影

光刻术

相机

光刻机

摘要：

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文献信息

篇名	软X—射线投影光刻术：实验和实用的光刻机
来源期刊	光机情报	学科	工学
关键词	软X射线投影光刻术相机光刻机
年，卷（期）	1992,（4）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	16-26
页数	11页	分类号	TN305.7
字数		语种	中文
DOI

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