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用陶瓷靶通过RF磁控溅射制备的热电Pb1—xLaxTi1—x／4O3薄膜
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文献信息
| 篇名 | 用陶瓷靶通过RF磁控溅射制备的热电Pb1—xLaxTi1—x／4O3薄膜 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 磁控溅射 PLT薄膜 热电膜 | ||
| 年，卷（期） | gwhjbydlztyy_1995,（6） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 62-65 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TN213 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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磁控溅射
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