论文降重
免费查重
推荐文章
半导体纳米线制备中干法刻蚀技术的研究
一维纳米结构
纳米线
尺寸
干法刻蚀技术
利用SiCl4/Ar/H2气体ICP干法刻蚀GaAs材料
GaAs
干法刻蚀
电感耦合等离子体
SiCl4
光滑表面
纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究
LB膜
纳米粒子
掩模
纳米刻蚀
基于电感耦合等离子体的InP基半导体材料干法刻蚀的研究
固体掩膜版
电感耦合等离子体
InP
干法刻蚀
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1998(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
厚膜多芯片组件
干法刻蚀
MCM
厚膜电路
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
混合微电子技术
主办单位：
中国电子集团公司第四十三研究所
出版周期：
季刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
安徽省合肥市6068信箱(合肥市绩溪路260号)
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
1458
总下载数（次）
46
总被引数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
混合微电子技术2020
混合微电子技术2019
混合微电子技术2017
混合微电子技术2016
混合微电子技术2015
混合微电子技术2014
混合微电子技术2013
混合微电子技术2010
混合微电子技术2009
混合微电子技术2008
混合微电子技术2007
混合微电子技术2006
混合微电子技术2005
混合微电子技术2004
混合微电子技术2003
混合微电子技术2002
混合微电子技术2001
混合微电子技术2000
混合微电子技术1999
混合微电子技术1998
混合微电子技术1997
混合微电子技术1996
混合微电子技术1995
混合微电子技术1994
混合微电子技术1993
混合微电子技术1992
混合微电子技术1991
