一种新型MCM基板--阳极氧化多层基板

• 作者: 刘彤
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极氧化 多层布线基板 MCM
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 15-17
• 分类号: TN45
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.1999.01.007

摘要

采用电化学方法,对基板上的Al膜进行选择性阳极氧化,从而制得导带、通孔和介质,重复上述工序,便可制得多层布线基板.与常用多层布线基板,如MCM-C、MCM-D比较,它具有制作工艺简单独特、互连密度高,线径、间距和孔径更小,平面性好,绝缘电阻高等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘彤		1	0	0.0	0.0