上海第三代同步辐射装置及其在光刻和LIGA中的应用

• 作者: 叶甜春 谢常青
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 第三代同步辐射光源 x射线光刻 LIGA
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 11-13
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.01.004

摘要

对即将动工的上海第三代同步辐射装置(SSRF)及其主要参数作了介绍.叙述了目前同步辐射x射线光刻和LIGA的一些技术进展情况,并对未来SSRF光刻/LIGA实验站的应用前景作了简要分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶甜春	中国科学院微电子中心三室	200	911	14.0	18.0
2	谢常青	中国科学院微电子中心三室	50	258	9.0	12.0