电子束蒸发方法制备ZnO薄膜的结构和光学特性研究

• 作者: 宁潜艳 郑才平 马丛笑
• 来源期刊: 哈尔滨商业大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子束蒸发 光致发光 薄膜 X射线衍射(XRD)
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 31-32
• 页数: 2页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 1135字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-0946.2001.03.010

摘要

用电子束蒸发方法在硅衬低上制备ZnO薄膜,测量了ZnO薄膜的XRD谱,表明六角晶体结构的薄膜具有强C轴择优取向(002),并且,测量了ZnO薄膜样品的二次离子质谱(SIMS),表明其化学剂量比为1∶1.在光致发光实验中,用He-Cdi激光器的325nm(50mω)波长激发,观察到了385nm的紫外光发射.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马丛笑	哈尔滨师范大学物理系	6	16	2.0	3.0
2	宁潜艳	哈尔滨师范大学物理系	12	11	1.0	3.0
3	郑才平	哈尔滨师范大学物理系	8	17	3.0	4.0