电子束蒸发制备纳米ZnO薄膜及其特性研究

• 作者: 李祥 梁齐 汪壮兵 陈凌涛 鲁迎春
• 来源期刊: 安徽大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子束蒸发 X射线衍射 拉曼谱 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 60-64
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3565字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2162.2008.02.017

摘要

用电子柬蒸发制备一系列纳米znO薄膜,用XRD和AFM研究其结构和形貌,重点研究其拉曼谱.ZnO靶的拉曼谱出现了4个明显的峰,与文献报道基本一致.室温下沉积的ZnO薄膜中存在大量缺陷和氧空位,其拉曼频移只有LO模和低频E:模,且其LO模有相对频移,峰展宽,强度加强.ZnO膜的高频拉曼谱对其结构不敏感,各种制备条件下的ZnO膜其高频拉曼谱基本一致.对拉曼谱,结合XRD和AFM分析给出了初步的解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁齐	合肥工业大学理学院	47	197	7.0	10.0
2	汪壮兵	合肥工业大学理学院	19	69	5.0	7.0
3	鲁迎春	合肥工业大学理学院	24	94	6.0	8.0
4	李祥	合肥工业大学理学院	12	42	3.0	6.0
5	陈凌涛	合肥工业大学理学院	2	10	2.0	2.0