步进光刻机中的成像线宽控制

• 作者: 周虎明
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 步进光刻机 线宽控制 线宽误差 因素 调整
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 论文·研制报告
• 页码范围: 27-33
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4090字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2001.01.005

摘要

线宽控制是光刻质量的关键。以0.8～1.0μm IC电路生产为依据，讨论光刻机特性影响成像线宽的因素以及使用中的最佳调整。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周虎明		1	9	1.0	1.0