OMR-85光刻胶的研究与应用

• 作者: 章文红
• 来源期刊: 微电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻胶 感光灵敏度 图形变换差 接触式曝光
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 产品与应用
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2111字
• 语种: 中文

摘要

在半导体制造中,光刻胶是重要的原材料之一.本文从转速与膜厚、感光灵敏度、图形变化差等方面对ORM-85光刻胶进行了研究,得出了用于大生产的一套工艺.解决了接触式曝光方式粘版的问题及提高了产能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章文红		1	1	1.0	1.0