UV-LIGA深度光刻机平滑衍射技术研究

• 作者: 余国彬 姚汉民 胡松
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: UV-LIGA技术 平滑衍射 蝇眼积分透镜
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1512字
• 语种: 中文

摘要

UV-LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术.介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理,它采用了蝇眼积分透镜去平滑衍射,并模拟数值计算了硅片表面的光强分布,最后给出了光刻结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
2	姚汉民	中国科学院光电技术研究所	44	355	9.0	16.0
3	余国彬	中国科学院光电技术研究所	22	129	7.0	10.0