微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究

• 作者: 吴一辉 潘毓学 王彤宇 贾宏光
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微致动器 微力矩 非接触测量 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 228-230
• 页数: 3页
• 分类号: TH823+.4
• 字数: 2136字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1093.2002.02.021

摘要

本文提出了一种新的非接触式、高灵敏度微致动器输出力矩动态测试方法,以非接触测量代替接触测量,改间接测量为直接测量,最大限度地减少中间环节及测量影响因素,测量精度可提高一个数量级,测量范围可提高到10-4～10-7Nm.同时,设计了非接触、高灵敏度微致动器力矩动态测量仪,并对其中的两项关键技术-非接触微力制动和微力自动加载进行了论述,并给出了该仪器的实际测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾宏光		3	33	2.0	3.0
2	吴一辉		8	53	3.0	7.0
3	王彤宇		2	9	2.0	2.0
4	潘毓学		1	2	1.0	1.0