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摘要:
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一种光刻胶专用树脂的生产方法及应用
光刻胶
专用树脂
生产工艺
应用
光刻胶级214-磺酰氯的生产方法及应用
光刻胶
214-磺酰氯
生产方法
应用
软紫外光压印光刻的模具制造研究
光刻胶
母版材料
软模具
新型玻璃刻蚀用光刻胶的研制
玻璃刻蚀
光刻胶
掩膜
超支化聚酯
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 日本大金开发用作光刻胶的氟树脂
来源期刊 精细与专用化学品 学科
关键词
年,卷(期) 2002,(12) 所属期刊栏目 电子化学品
研究方向 页码范围 25
页数 1页 分类号
字数 语种 中文
DOI
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相关学者/机构
期刊影响力
精细与专用化学品
月刊
1008-1100
11-3237/TQ
大16开
北京市安外小关街53号
82-877
1986
chi
出版文献量(篇)
7403
总下载数(次)
24
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20231
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