辉光等离子体辅助化学气相沉积低温合成金刚石薄膜的研究

• 作者: 傅广生 尚勇 杨景发 董丽芳 赵庆勋
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 辉光等离子体 光学发射谱
• 年，卷（期）: 2002,（7）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 798-802
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3807字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2002.07.007

摘要

采用辉光放电等离子体增强化学气相沉积(GP-CVD)技术在低温条件下合成了高品质的亚微米金刚石薄膜,并通过对合成过程的实时发射光谱诊断确定了[CH4-H2]系统参与金刚石合成反应的主要荷能粒子.对合成过程的研究表明:采用这种技术能使电子增强热丝化学气相沉积(EACVD)合成高品质金刚石薄膜的温度从850 ℃降至(340±5) ℃;薄膜低温合成中的主要荷能粒子为CH3、CH,CH+、H*等,其中过饱和原子氢保证了高品质金刚石薄膜的合成;根据光诊断和探针测量的结果推断近表面辉光放电可在基片表面形成电偶极层,该偶极层是进行超常态反应的必要环境,并在低温合成中起重要作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生	河北大学物理科学与技术学院	184	817	13.0	17.0
2	赵庆勋	河北大学物理科学与技术学院	54	254	10.0	13.0
3	杨景发	河北大学物理科学与技术学院	65	377	10.0	16.0
4	董丽芳	河北大学物理科学与技术学院	183	836	17.0	22.0
5	尚勇	河北大学物理科学与技术学院	16	40	4.0	6.0