智能轴承用薄膜传感器

• 作者: 刘希东 巴德纯 张以忱 高航
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 智能轴承 薄膜温度传感器 薄膜力敏传感器
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TB43|TB79
• 字数: 5791字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.06.002

摘要

滚动轴承是机械工业的基础元件,波及机械工业各个领域.普通的轴承承受着载荷的实时工作状态很难精确测定.基于微机电的薄膜传感器智能轴承技术,能实现轴承的实时在线自诊断,防止轴承失效及其引起的机器失效.本文介绍了基于微机电薄膜传感器的智能轴承的结构及组成,着重探讨了应用于智能轴承的薄膜传感器的特点、种类、安装形式,并指出智能轴承用薄膜传感器制备的关键技术问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张以忱	东北大学机械工程与自动化学院	153	408	11.0	16.0
2	巴德纯	东北大学机械工程与自动化学院	250	1491	18.0	22.0
3	高航	东北大学机械工程与自动化学院	26	414	13.0	20.0
4	刘希东	东北大学机械工程与自动化学院	2	40	2.0	2.0