射频磁控溅射有机衬底SnO2∶Sb透明导电膜性能的研究

• 作者: 刘晓梅 张士勇 郝晓涛 马洪磊 马瑾
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 有机衬底 SnO2∶Sb透明导电膜 光电性质
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 452-453,457
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2|TN304.055
• 字数: 2231字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2003.04.035

摘要

采用射频磁控溅射法在聚丙烯己二酯有机薄膜(polypropylene adipate, PPA)衬底上低温制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电膜.研究了薄膜的厚度效应对SnO2∶Sb薄膜的结构、光学和电学特性的影响.制备薄膜为多晶膜,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构.载流子浓度和迁移率随着薄膜厚度的增加而增大,电阻率随着薄膜厚度的增加而减小,最低电阻率为 2×10-3Ω*cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	44	495	13.0	20.0
2	马洪磊	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	58	681	15.0	23.0
3	刘晓梅	山东大学计算机科学与技术学院	9	128	5.0	9.0
4	张士勇	长安大学理学院	19	177	4.0	13.0
5	郝晓涛	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	12	158	7.0	12.0