有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al透明导电膜的结构及光电特性对比研究

• 作者: 张鹏 杨田林 王爱芳 韩圣浩
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO:Al薄膜 光电特性 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 329-333
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3245字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2004.05.002

摘要

讨论了在低温条件下制备的ZnO:Al薄膜的结构、表面形貌和光电特性,对聚酰亚胺(Polvimide,PI)和玻璃两种不同衬底的薄膜进行了比较研究.两种不同衬底的薄膜均为多晶膜,具有六角纤锌矿结构,最佳取向均为(002)方向,衬底温度从室温到210℃时,制备的薄膜密度变化范围为4.6～5.16 g/cm3.在柔性衬底和玻璃衬底上制备的薄膜最低电阻率分别为5.3×10-4Ω·cm和5.1×10-4Ω·cm,薄膜在可见光区的平均透过率分别达到了72%和85%,讨论了两种衬底薄膜电学特性的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏	山东大学威海分校空间科学与应用物理系	108	798	13.0	21.0
2	韩圣浩	山东大学威海分校空间科学与应用物理系	28	181	8.0	12.0
3	杨田林	山东大学威海分校空间科学与应用物理系	16	117	5.0	10.0
4	王爱芳	山东大学威海分校空间科学与应用物理系	12	57	5.0	7.0