光刻机超精密工件台研究

• 作者: 尹文生 朱煜 段广洪
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 超精密 工件台 气浮导轨 运动控制 纳米
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 专题报道(光刻技术与设备)
• 页码范围: 25-27,44
• 页数: 4页
• 分类号: TN350.7
• 字数: 1688字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.02.006

摘要

针对步进扫描投影型光刻机超精密工件台开展研究,所搭建的超精密气浮运动试验台采用气浮直线导轨支撑、直线电机驱动、直线光栅尺反馈组成大行程直线运动系统,其上叠加洛仑兹电机驱动的气浮微动台,提供对直线电机运动的精度补偿,由双频激光干涉仪提供粗、精动运动系统的超精密位置检测和反馈,两套直线运动系统可研究同步扫描运动,并可灵活地组成多种x-y超精密运动系统.介绍了基于该试验台进行的超精密运动控制试验研究,运动定位精度已经达到12 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹文生	清华大学精密仪器与机械学系	39	623	12.0	24.0
2	朱煜	清华大学精密仪器与机械学系	99	1312	17.0	33.0
3	段广洪	清华大学精密仪器与机械学系	122	2923	30.0	49.0