63.5 mm×127 mm英寸UT 1×光刻版的设计及制造

• 作者: 曹庄琪 粟鹏义 陈开盛
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: UltraTech 数据处理 光刻版 光刻
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 集成电路制造技术
• 页码范围: 30-32,35
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3405字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2004.06.010

摘要

提出一种新的UT 1X光刻版规格:63.5mm×127mm,与原来的76.2mm×127mm的UT1X光刻版适用于同一种UltraTech步进光刻机.相应的光刻版数据处理以及夹具进行了调整.新规格的光刻版将127mm×127mm的基材的产出提高了一倍,加快了光刻版的生产速度,同时减少了废弃物的产生,有利于降低成本和环境保护.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	粟鹏义		3	4	1.0	2.0
5	陈开盛		1	0	0.0	0.0
6	曹庄琪		1	0	0.0	0.0