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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微量掺锗直拉硅单晶
来源期刊 科技开发动态 学科 工学
关键词 微量掺锗直拉硅单晶 空洞缺陷 成品率 生产成本
年,卷(期) 2004,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 49-50
页数 2页 分类号 TN325.2
字数 语种 中文
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2004(0)
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研究主题发展历程
节点文献
微量掺锗直拉硅单晶
空洞缺陷
成品率
生产成本
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技开发动态
双月刊
1003-014X
CN 11-2681/N
北京市中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
5181
总下载数(次)
14
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