90～65nm清洗新技术

• 作者: 张晓红 王锐廷
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 90～65nm节点技术 超凝态过冷动力学清洗 微粗糙度 RMS(均方根误差值) 载流子迁移率
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: IC制造与设备
• 页码范围: 13-15,28
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 3681字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.08.005

摘要

简单说明了清洗技术在90～65 nm节点技术阶段的新发展,着重介绍了一种新的清洗技术-低温冷凝清洗技术产生的背景、技术现状及其应用,对我国半导体清洗行业的未来发展提出建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓红		2	6	2.0	2.0
2	王锐廷		3	9	2.0	3.0