MOCVD生长AlGaInN外延层的光学性质研究

• 作者: 刘建平 杨辉 江德生
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化物 阴极荧光 拉曼散射
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 第十二届全国凝聚态物质光学性质学术会议邀请报告选编
• 页码范围: 193-197
• 页数: 5页
• 分类号: O472+.3|O484.5
• 字数: 4553字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2005.03.008

摘要

对AlInGaN四元合金进行了微区发光和拉曼散射研究.根据V-形缺陷周围扫描电镜图像和阴极荧光光谱的分析,确定AⅡnGaN外延层中V-形缺陷的形成与铟的分凝之间的关系.同时,用波长为325纳米的短波长激光研究了AlInGaN外延薄层的拉曼散射,测量了合金铝组分改变引起的A1(LO)声子的频率移动,观测到了出射共振引起的LO声子拉曼散射谱的共振加强,此共振过程的机制是一种类级联的电子-多声子互作用机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨辉	中国科学院半导体研究所	179	2701	25.0	46.0
2	江德生	中国科学院半导体研究所	14	36	3.0	5.0
3	刘建平	中国科学院半导体研究所	31	301	11.0	15.0