成膜参数对Au透明导电复合膜电性能的影响

• 作者: 沈玫 纪建超 颜悦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 复合膜 电阻 温度 电压 退火
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: O484|TB43
• 字数: 1766字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2005.02.010

摘要

介绍了用真空磁控溅射方法沉积的Au-氧化物透明导电复合膜,研究了沉积复合膜过程中,真空室温度、电压以及退火处理等因素对复合膜电性能的影响,研究表明复合膜的电阻呈正温度系数,电阻低值对应于适宜的电压,从而对改善复合膜的光学、电性能及物理机械性能提供了很好的思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	颜悦		46	373	11.0	18.0
2	纪建超		9	36	4.0	5.0
3	沈玫		6	58	3.0	6.0