蒙特卡罗模拟金刚石薄膜化学气相沉积过程中甲烷浓度的影响

• 作者: 尚勇 王志军 董丽芳 马博琴
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 化学气相沉积 蒙特卡罗模拟 气相过程 甲烷浓度
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 359-363
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.035

摘要

本工作采用蒙特卡罗模拟,研究了以CH4/H2气体混合物作为源料气体的电子辅助热丝化学气相沉积中甲烷浓度对气相沉积过程的影响.计算了典型实验条件下电子能量分布,研究了电子平均能量、碎片H及CH3数目的空间分布、H与CH3的比值及CH3携带的能量随甲烷浓度的变化.结果表明:当电子能量为2-3eV时,电子的数密度达到一峰值;平均电子能量随着甲烷浓度的增加而增加;电子与气体分子碰撞产生的碎片H、CH3和CH2的数密度随距热丝的距离而变化;随着甲烷浓度的增加,原子氢H的数目缓慢下降,然而,官能团CH3和CH2的数目缓慢上升;H与CH3的数量比随甲烷浓度的增加而减少;碎片CH3携带的能量处于1～5eV范围之内,且当甲烷浓度为1.3%时,该能量达到一最值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志军	河北大学物理科学与技术学院	78	570	15.0	19.0
2	董丽芳	河北大学物理科学与技术学院	183	836	17.0	22.0
3	尚勇	河北大学物理科学与技术学院	16	40	4.0	6.0
4	马博琴	河北大学物理科学与技术学院	2	5	2.0	2.0