光刻机宏动试验运动平台设计及其减振系统仿真研究

• 作者: 吴运新 李建平 邓习树
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 精密减振 ADAMS 仿真
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 专题报道(IC前道制程)
• 页码范围: 24-29
• 页数: 6页
• 分类号: TH161.6
• 字数: 4395字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.10.007

摘要

根据光刻机的步进运动、同步扫描运动和自然振动的特点,设计了两种形式的宏动运动平台结构图和整个系统精密减振方法,并选用STACIS2000减振器作为系统的主动减振器.对ADAMS的求解原理进行了简单介绍并运用ADAMS仿真软件分别建立了两种结构对应的虚拟仿真模型,对减振系统分别无主动控制和有主动控制进行了仿真研究.结果表明,没有主动控制的结果不能满足光刻机的工作要求,采用主动控制比没有主动控制的效果要好并能满足工作要求.通过两种方案的结果对比分析,选择第二种结构方案作为本课题的设计方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓习树	中南大学机电工程学院	17	186	9.0	13.0
2	吴运新	中南大学机电工程学院	184	1824	22.0	31.0
3	李建平	中南大学机电工程学院	41	254	9.0	12.0