射频溅射制备镁钙微波陶瓷薄膜的研究

• 作者: 王德苗 董树荣 金浩
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波介质陶瓷 MCT 介质薄膜 射频溅射
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 449-452
• 页数: 4页
• 分类号: O484.8
• 字数: 3184字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2005.03.029

摘要

制备了膜层质量良好的镁钙微波介质陶瓷(MCT)薄膜.采用高密度等离子体射频溅射法在(110)二氧化硅上沉积了MCT陶瓷薄膜.研究结果表明: 薄膜态MCT陶瓷具有和块状材料相近的微波介电特性,MCT薄膜的介电常数在20左右,品质因子在23THz左右;溅射气体的氩氧混合体积比会明显影响薄膜膜层质量及其介电特性,氧分压的变化改变了八面体C轴长度,使晶格畸变和八面体向四面体转变;溅射功率和退火工艺温度也会影响薄膜质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董树荣	浙江大学信息与电子工程学系	51	627	14.0	23.0
2	王德苗	浙江大学信息与电子工程学系	66	789	15.0	24.0
3	金浩	浙江大学信息与电子工程学系	27	227	10.0	14.0